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多晶硅衬底上的RF MEMS开关 总被引:3,自引:3,他引:0
在微机械开关与硅IC工艺设计和兼容方面进行了改进,获得了一种可与IC工艺兼容的RFMEMS微机械开关.采用介质隔离工艺技术把这种RFMEMS微机械开关制作在绝缘的多晶硅衬底上,实现了与IC工艺兼容;采用在金属膜桥的端点附近刻蚀一些孔的优化方法,降低了RFMEMS微机械开关的下拉电压.用TE2 819电容测试设备测试开关的电容,测得开关的开态电容、关态电容和致动电压分别为0 32 pF、6 pF和2 5V .用HP875 3C网络分析仪对RFMEMS微机械开关进行了RF特性测试,得出RFMEMS微机械开关在频率1 5GHz下关态的隔离度为35dB ,开态的插入损耗为2dB ,用示波器测得该开关的开关 相似文献
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介绍了用单根光纤传输测量信号和功率信号的光功率推动液体压力测量仪及其工作原理。该仪器以电容式压力传感器的δ元件作为压力检测元件,采用低功耗前置器电路和简单直杆结构,实现了便携式测量。测量范围为O~100kPa,精度为O.01kPa。 相似文献
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Fe3O4/PSt/TiO2多层包覆电磁响应微球的制备 总被引:7,自引:0,他引:7
首先采用分散聚合法将自制的Fe3O4磁流体和苯乙烯反应合成有磁核的Fe3O4/PSt磁性聚合物微球,然后,用非均匀成核水解反应在Fe3O4/PSt微球外包覆无定形二氧化钛,获得Fe3O4/PSt/TiO2复合微粒。用红外光谱、扫描电镜和热分析对粒子的形貌和结构进行了表征。并测试了微粒的介电性能和磁性,结果表明,所制得复合微粒有良好的电、磁响应性。 相似文献
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"外掺MgO砼快速筑拱坝技术应用研究"课题及研究进展 总被引:6,自引:4,他引:2
“外掺MgO砼快速筑拱坝技术应用研究”课题是广东省水利厅2001年水利科技重点攻关项目。对于课题的由来、研究总体思路和主要方法、课题项目及主要内容,并就研究进展作了简略介绍、为今后应用该课题研究成果提供指引和方便。 相似文献
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