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91.
着重讨论了TiNx薄膜俄歇电子谱的定量分析方法和X射线光电子谱中线形的变化。利用已知组元强度定量分析技术和Ti的LMV俄歇电子峰,探讨TiNx薄膜中N含量的定量方法。由该方法给出的定量结果与X射线光电子谱定量结果相一致。同时,利用X射线光电子谱测定了TiN和Ti2N2p轨道的结合能。并针对Ti2p峰形随N含量的变化,给出新的解释。  相似文献   
92.
薄Si膜对基底表面粗糙度的影响   总被引:8,自引:3,他引:5  
利用ZYGO光学干涉测量仪,散射积分测量法观测了光学元件表面均方根粗糙度.详细分析了薄Si膜对基底均方根粗糙度的影响,由此认为薄膜并不总是复制基底表面的粗糙度,结果出现了薄膜降低表面粗糙度的现象.提出了一定厚度范围的薄Si膜的表面粗糙度存在着一个稳定值的新设想.  相似文献   
93.
薄膜生长的计算机模拟   总被引:2,自引:0,他引:2  
薄膜技术在现代科技领域中有着广泛的应用。人们对薄膜的生长过程通过理论和实验进行了深入的研究,其中计算机模拟是重要的方法,本文概述了对薄膜生长过程的实验观察结果及其理论分析,主要讨论了薄膜生长的计算机模拟中经常采用的方法-蒙特卡罗法和分子动力学方法、描述衬底上成膜粒子运动的一些模型以及在计算机模拟中需注意的一些问题,其中主要包括粒子间的相互作用,入射粒子的能量和粒子上的衬底上的扩散运动。  相似文献   
94.
金刚石薄膜异质外延的研究进展   总被引:3,自引:0,他引:3  
主要介绍金刚石薄膜在Si上异质外延的研究状况。综述了外延金刚石薄膜的偏压形核 ,SiC过渡层的影响及一些实验参数对外延薄膜质量的影响等 ,并论述了发展方向  相似文献   
95.
The dye-sensitized TiO2 complex films were prepared by the dye coat onto TiO2 surfaces,and the sensitizing mechanism and adsorption properties of the dye-sensitized TiO2 complex films were inverstigated.The influence of the application conditions of dye adsorbed on TiO2 films on the amount of dye adsorption was discussed.Experimental results show that the concentration,the temperature of dye solutions and the dipping time of TiO2 films in the dye solutions have a significant influence on the amount of dye adsorption.Cell test indicates that the conversion efficiency of light to electricity increases with the amount of dye adsorption.  相似文献   
96.
文克尔地基上中面x方向受力的矩形薄板的振动   总被引:1,自引:1,他引:0  
张英世 《水利学报》1999,30(7):0007-0012
建立文克尔地基上x=0与x=a两对边受面内均布拉(压)力作用的矩形薄板自由振动和强迫振动的微分方程并求得其通解。给出振型函数的表达式,用广义函数的富里叶展开,讨论板在不同形式载荷作用下的强迫振动响应。文中导出的各种情况下的影响函数,亦可用于求解相应情况下矩形薄板的静力弯曲与稳定性问题。  相似文献   
97.
陈军  尤政 《激光技术》1998,22(5):290-294
提出了一种利用特征提取来对硅中微/纳米级体缺陷的激光散射图样进行分析,以获得缺陷大小信息的分析方法.给出了该方法中第一特征值和第二特征值的定义,指出通过所提出的第一特征值及第二特征值即可迅速地判断出缺陷的大小量级所在.这种分析方法具有分析速度快,在体缺陷小于1μm时分辨率高,且可使系统实现自动化等优点.  相似文献   
98.
朱建华  周兰 《光电工程》1994,21(3):61-64
对无明胶重铬酸盐全息记录软片(NGD)的光正性抗蚀特性进行了分析研究,通过对溶解度的分析及红外光谱的测定,首次提出NGD是一种新型的紫外正性光抗蚀材科,给出了实验及分析结果。  相似文献   
99.
Sputter deposition is currently being widely used in the microelectronics industry for the production of silicon integrated circuits. Recently interest has been focused on sputter deposition as a new materials processing technique. The highly energetic sputtered atoms enhance crystal growth and/or sintering during film growth. This results in lowering of the growth temperature of high temperature materials including cubic diamonds. Single crystals of complex ceramics materials could be prepared by sputter deposition through epitaxial growth process. Atomically controlled deposition using multi-target sputter enables to make man-made superlattice including high-T C superconductors of layered perovskite. At present sputter deposition is one of key materials technologies for the coming century.  相似文献   
100.
Thin epitaxial films of HgSe and Hg1−xCdxSe (x≤0.34) were successfully grown for the first time by molecular beam epitaxy. Film growth parameters are discussed, and results of structural, electrical, and optical studies are reported.  相似文献   
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