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本文研究了TiN薄膜在化学气相沉积、物理气相沉积(包括热灯丝离子镀和多弧离子镀)以及等离子增强化学气相沉积等不同生成条件下的内应力变化。并通过改变钢及硬质合金基体的化学成份和表面状态。考察了基体材料对薄膜应力的影响。在此基础上,对薄膜内应力的形成机制进行了分析讨论。 相似文献
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二次氮化法制备γ‘—Fe4N超细粉末 总被引：2，自引：0，他引：2
以ＦｅＣｌ２．ｎＨ２Ｏ和ＮＨ３为原料，采用一步气相合成法制备了Ｆｅ／Ｎ超细粉末，并研究了二次氮化法制备化铁超细粉末的工艺技术，通过比较实验，证实二次氮化法能够制备单相的γ－Ｆｅ４Ｎ粉末。利用ＸＲＤ、ＴＥＭ、ＸＰＳ和ＶＳＭ实验手段对Ｆｅ／Ｎ和γ’－Ｆｅ４Ｎ粉末的晶态、物相、形貌、成分、粒度和磁性进行了初步表征。 相似文献
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用填充柱气相色谱法分析了气态二甲醚产物中所含的CO、CO2、CH4、C2H4，用外标法对这些组分进行定量，得到了满意的结果，并在1．0万t／a二甲醚生产装置中得到应用。 相似文献