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离子束辅助沉积(Ti,Al)N梯度薄膜的结合强度 总被引:3,自引:0,他引:3
本文采用离子束辅助沉积技术,制备了不同成分梯度的一系列(Ti1-xAlx)N膜(其中x=0.16~0.44),并利用刮剥式结合强度测量方法,对薄膜成分对结合强度、内应力、硬度等的影响进行了研究。研究工作发现,刮剥法测得的结合强度,在x=~0.31处取得最大结合强度值后,随薄膜成分梯度的增大而下降,但在重要的40%~50%Al区域内,梯度(Ti,Al)N膜的结合强度、硬度以及内应力却都维持在一个较为稳定的水平,较少受薄膜成分等的影响。梯度((Ti,Al)N膜的结合强度主要受膜中残余应力的影响。 相似文献
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根据实测数据,运用渗压系数法和直线比例法分析北溪供水工程北港闸基防渗加固处理前后的渗流变化情况,从而初步分析此次加固处理的效果。 相似文献
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针对变压器最优方案的选取,论述了循环遍数法,指出了循环遍数法的一个最大问题就是必须正确设置循环上下界,并要充分利用约束条件,使循环上下界收缩,找到最优方案,文中还就圆筒式线圈进行了讨论。 相似文献
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