MEMS扫描镜温度可靠性测试

温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响,再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描镜可靠性的影响,分析扫描镜在试验中是否失效和失效的原因。试验结果表明:高温对MEMS扫描镜外框架和镜面振幅无影响,低温对MEMS扫描镜外框架振幅影响较大,增幅达12.3%,对镜面振幅无影响;低温存储由于水汽凝结会导致MEMS扫描镜失效,高温存储对MEMS扫描镜可靠性无影响。     

4H-SiC肖特基微型同位素电池(英文)

半导体同位素电池由于其寿命长、集成性优良、环境适应性强等特点成为解决MEMS能源问题的理想手段。利用4H-SiC材料的宽禁带特性,制造了4H-SiC肖特基同位素电池。对电池的耗尽层厚度以及掺杂浓度进行了优化设计,对肖特基金属进行了选择。使用4mCi/cm2的63Ni作为同位素电池的放射源对制造的同位素电池进行了测试。测试结果表明,该同位素电池可以获得31.3nW/cm2的功率密度、0.5V的开路电压、3.13×10-8A/cm2的短路电流密度和1.3%的转换效率。将电池的输出特性和硅基的平板型、3D结构电池输出特性进行了比较,证明4H-SiC肖特基同位素电池能够获得较高的功率密度。电池的性能可通过提升势垒高度、提高工艺质量、更换同位素等方式得到提高。     

微能源发展概述

产品小型化、微型化、集成化是当今技术发展的大趋势,能源供应已成为制约产品微型化技术发展的瓶颈,其微型化问题受到广泛的重视。结合目前国内外微能源的发展现状,分别介绍了微太阳能电池、同位素微能源和基于卡门涡街的压电微能源等几种典型的微能源,并展望了微能源的发展趋势和应用前景。     

动力设备安装在楼板上时厂房结构计算方法探讨

通过对安装在楼层上的动力设备对其支承结构振动计算方法的讨论,叙述了设计中应当注意的一些问题。     

一种新型CCD驱动电路设计方法

在结合直接数字电路驱动法与单片机口驱动法的基础上,设计了一种新型的CCD驱动电路,保留了原有两种方法各自的优点.仿真与实验结果表明该方法能提供多路驱动时序,驱动频率高,硬件电路简单,编程方便,具有较好的性价比及应用推广价值,已用于CCD图像采集系统的研制.     

染料共敏化纳米晶太阳能电池的性能研究

采用罗丹明-B与香豆素混合的方法,配制成敏化剂修饰纳米晶薄膜.实验结果证明,这种共敏化的方法可以在可见光范围内有效提高电池的吸光度,使得电池的性能比单独使用罗丹明-B敏化有了大幅度提高.实验中,罗丹明-B与香豆素共敏化的电池的开路电压达到了550mV,短路电流达到了0.1375mA/cm^2.     

测量深亚微米薄膜内微小残余应力的测试圆环结构

为能灵敏地测出深亚微米薄膜中的微小残余应力,对现有的圆环临界屈曲结构做进一步改进,并利用改进后的圆环结构测量3种不同厚度的深亚微米尺度薄膜残余应力。通过在线监测系统对释放过程进行观察并测量其临界腐蚀深度,然后借助ANSYS软件的特征值屈曲法计算出残余应力大小。改进后的测试圆环结构最终成功地测量出3种深亚微米尺度薄膜中10MPa以下的微小残余压应力,而制作在同一薄膜上的微旋转机构因在如此低的应力状态下未发生明显的形变而未能实现残余应力的测量。     

动力设备安装在楼板上时厂房结构计算方法探讨

通过对安装在楼层上的动力设备对其支承结构振动计算方法的讨论，叙述了设计中应当注意的一些问题。     

A betavoltaic microbattery based on PIN diodes

A betavoltaic Microbattery was studied.The diode was composed of a PIN structure with an active area of 10 mm×10 mm to collect the charge from a 10mCi Ni-63 source.An open circuit voltage of 0.16 V and a short circuit current density of 67.6 nA/cm2 were measured.An efficiency (η) of 1.44% was obtained.The performance of device was limited by high series resistance,edge recombination and attenuation of electron in PIN diodes.It is expected to be improved by optimizing the design and using more suitable radioisotope.     

一种新型基于MEMS的同位素微电池的研究

介绍了同位素微电池的工作原理及结构组成.阐明了其从工作原理上区别于原有的核电池,采用和太阳能电池光生伏特相似的辐生伏特效应.对同位素微电池的工艺作了详尽的介绍.提出了使用垂直侧壁方孔阵列的能量转换结构,相比传统的同尺寸开口且等深的倒三角直槽型或倒金字塔型的能量转换结构表面积增大了120%以上;引入了电镀区这一新结构,增强了同位素微电池的工作稳定性.