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亚表面缺陷的准确检测是进行亚表面损伤研究的前提和基础,对保证光学元件加工质量至关重要.基于HF酸化学蚀刻法对熔石英元件抛光加工产生的亚表面水解层、缺陷层深度和亚表面损伤形貌进行了定量检测,并利用X射线荧光光谱法研究了熔石英抛光试件杂质元素的种类和元素含量沿深度分布规律,提出了熔石英元件抛光加工亚表面损伤深度的判定方法.研究表明:由于水解层和亚表面缺陷层的存在,熔石英抛光试件的蚀刻速率随着时间的增加呈现递减的趋势,且在蚀刻的初始阶段蚀刻速率下降尤为明显;当蚀刻深度超过某一特定值后,全部或部分覆盖在水解层以下的缺陷层将会被完全蚀刻去除,蚀刻速率基本保持不变;另外,熔石英抛光试件存在多种形式的表面及亚表面缺陷,在不同蚀刻深度,亚表面损伤形貌、划痕的宽度和深度也存在一定的差异. 相似文献
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连续相位板(CPP)是大型激光装置中用于控制光束形状、能量和波前分布的一种重要衍射光学元件。为改善聚焦光束的质量,建立了基于现有工艺的大口径CPP理论设计模型,优化了传统衍射元件设计算法。采用该算法设计了用于背光照明的Ф330mm CPP,开展了数控化学抛光制作CPP试制,并在大型激光装置上开展了验证实验。结果表明,基于工艺改进算法设计的CPP具有更好的加工特性和焦斑性能,基本实现了整形和匀滑性能,能够较好满足现有工艺约束条件和物理需求。 相似文献
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介绍了燕山乙烯装置在用蒸汽网络的匹配情况。目前装置消耗蒸汽主要有4种,按蒸汽压力等级划分,分别是10.0 MPa超高压蒸汽(SS)、1.5 MPa中压蒸汽(MS)、0.3 MPa低压蒸汽(LS)和0.25MPa次低压饱和蒸汽(PS)。装置生产运行工况的改变对蒸汽的使用与消耗会产生一定的影响。通过对不同工况条件下相关数据的采集和生产改造等因素的分析,尝试探寻出装置节能运行方向,并从管理、计量、操作等角度为建立更合理、优化、高效的蒸汽网络提出改善建议,以期使燕山乙烯装置蒸汽使用能效水平进一步提高。 相似文献
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多参数监护仪能够同时对人体重要的生理参数、生化指标有选择地进行提取或连续地监测。为保证该设备计量性能的准确可靠,应对其定期进行计量检定校准。但由于多参数监护仪屏幕显示数据较多,且大多数机器没有提供离散数据输出功能,给检定人员对心电波形和血氧饱和度波形等数据分析带来很大困难。通过对被检设备图形的截取,灰度化、二值化、去噪、建立坐标、获取描记点坐标、测量值转换等方式,利用C#动态连接库的方式调用Matlab函数,实现多参数监护仪计量检定数据的波形提取和计算存储,从而为检定人员离线分析波形数据提供了准确可靠的方法。 相似文献
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针对非球面光学元件加工对圆弧金刚石砂轮形状误差测量的需求,提出了砂轮三维几何形貌在位检测与误差评价方法。建立了砂轮外圆面螺旋扫描轨迹测量数学模型,利用位移传感器获取了砂轮表面轮廓数据;对得到的数据匀滑滤波后沿圆周展开并进行插值处理,得到砂轮三维几何形貌。然后,根据非球面平行磨削加工特点,提出评价圆弧砂轮形状精度的指标。通过提取三维几何形貌轴截面轮廓,进行最小二乘圆弧拟合得到不同相位处的圆弧半径与圆心坐标,并由误差分离获得砂轮表面圆弧的圆度误差、圆周跳动误差及轮廓圆心轴向偏差。最后,对非球面加工圆弧金刚石砂轮进行检测,获得了砂轮的三维几何形貌以及多个关键尺寸及其误差数据:即圆弧金刚石砂轮的平均圆弧半径为55.442 3mm,半径波动极差为0.16mm,中央±8mm环带内圆弧的圆度误差约为5μm,圆周跳动误差约为2μm,截面轮廓圆心轴向位置相对偏差为0.008mm。根据检测结果,进行了大口径复杂非球面磨削实验,得到的元件面形P-V值为4.62μm,RMS值优于0.7μm,满足工程的实际需求。 相似文献
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采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染。实验中利用Marangoni界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积,并通过数控系统实现编程控制加工,进行了面形修复实验,利用轮廓仪测量了加工前后的表面粗糙度。结果表明,采用拼接小去除量多次加工的方法,有效地降低了面形误差,面形值由1.32 λ(λ=632 nm)减少到0.66 λ,粗糙度基本维持不变。利用此实验装置使基片面形得到修复,避免了传统加工方式带来的亚表面缺陷等问题,有利于强激光系统的使用。 相似文献
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春季,对上海浦东新区大田蔬菜地试验田按照不同施肥(常规、减量、无肥)处理水平、不同土壤深度(30 cm、50 cm、70 cm、120 cm),利用现场采样与室内实验结合的方法,对硝态氮淋溶进行了研究。实验结果表明,降雨量和氮肥施用对土壤硝态氮淋失有显著性影响。施肥试验区施肥后各土层硝态氮浓度均很高,4月份淋溶浓度普遍高于3月份。常规施肥区不同深度的硝态氮含量明显高于不施肥区,减量施肥区含量则介于二者之间。施肥区部分氮素硝态氮随降雨在土壤中不断向下淋溶,尤其在施肥初期较多的氮素由土壤表层不断淋失到土壤深层,在接近地下水位120 cm的剖面处产生渗漏液的硝态氮浓度超过国家限量标准(20mg L-1)。 相似文献
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介绍了燕化乙烯装置能源使用和消耗情况,其中包括对所用能源种类的介绍和近几年各类能源消耗数据的对比分析.针对前述对能源使用及统计情况的分析,从节能挖潜两大方向提高产品产量和降低能源消耗,探求燕化乙烯装置的节能空间. 相似文献
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压痕和刻划实验是测量材料弹性、塑性和断裂行为的最简单方法,磷酸二氢钾(简称KDP)作为优质的非线性光学材料,常用作光学频率转换器件和电光开关元件,一般采用单点金刚石削的方法加工此类零件.为了深入了解KDP晶体单点金刚石切削加工表层力学性能的变化规律,本文对KDP晶体单点金刚石切削加工表层力学性能指标如硬度H、断裂韧性Kc和残余应力σr方面的有关问题进行深入研究,并通过对KDP晶体(001)面不同晶向上的硬度检测,系统分析了KDP晶体加工表面晶向对材料硬度、断裂韧性和残余应力的影响,研究结果表明:KDP晶体的同一晶面的不同晶向硬度和断裂韧性具有强烈的各向异性. 相似文献