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11.
离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究
总被引:6,自引:0,他引:6
初国强
王子君
刘星元
王立军
《液晶与显示》
2001,16(2):135-139
报道了采用离子辅助电子枪蒸发技术制备优质氧化锌透明导电膜的工艺和结果,分析了源掺杂,镀膜气氛,衬底温度等参数与膜的电导率及透光特性的关系,作出了电阻率低达2×10
相似文献
12.
氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究
总被引:5,自引:1,他引:4
初国强
王子君
赵家民
刘毅南
刘云
刘星元
王立军
《光学精密工程》
2001,9(2):169-173
论述了ITO膜的导电及生长机理,讨论了离子辅助(IAD)电子枪蒸镀ITO膜的方法中,膜的组分、氧分压、衬底温度和蒸发速率等几个参数对ITO膜光电性能的影响,在选择合适的工艺条件下制备ITO膜,电阻率约3×10
-4
Ω
·
cm,可见光平均透过率高于80%。并用原子力显微镜(AFM)对溅射及蒸发膜进行了表面面型测试。
相似文献
13.
R6G—MPMMA型固体染料激光器的研制
初国强
刘星元
王立军
《激光与红外》
2001,31(2):82-84
利用激光染料罗丹明6G(R6G)掺杂的改性聚甲基丙烯酸甲酯(MPMMA),研究了R6G反杂MPMMA的吸收光谱,激光发及发射光谱,在调QNd:YAG倍频激光532nm泵浦下,得到590nm波长附近的激光输出,斜效率为21,并对漂白,寿命等进行了讨论。
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