一种用于化学机械抛光的加压装置设计研究

low-k材料的使用,使低下压力技术成为化学机械抛光(CMP)设备研发设计必须面临的关键技术之一,为适应该需求,提出了弹性组合元件加压技术,即通过改变加压元件的变形量来实现压力调整的机械调压技术。对该加压模式的设计要求及加压精度进行了理论分析,并进行了加压精度及压力-变形线性关系的实验验证。实验所得的加压精度与理论分析结果比较接近,加压装置的压力与变形之间基本呈线性关系。加压元件可以实现压力从零开始的低下压力、高精度压力调整。     

黏结剂对含铝炸药造型粉流散性和堆积密度的影响

为了研究黏结剂对含铝炸药造型粉流散性和堆积密度的影响,使用炸药造型粉流散性测量仪,以A-Ⅸ-Ⅱ炸药为参比标准,对使用不同黏结剂体系制造的含铝炸药造型粉进行分析测试.结果表明,使用硬脂酸和聚异丁烯黏结剂体系,含铝炸药造型粉的流散性与A-Ⅸ-Ⅱ炸药相当,而堆积密度明显优于A-Ⅸ-Ⅱ炸药.采用该黏结剂体系制备出的含铝炸药造型粉更适合分步压装装药工艺.     

基于UML的CMP控制系统设计与实现

CMP(Chemical Mechanical Polishing)设备是半导体集成电路(IC)制造中的关键设备,CMP设备控制软件的开发是CMP设备研发的关键技术之一。在分析三工位CMP设备控制系统需求的基础上,对控制系统中的3个工位的模块构建等问题进行了探讨,给出了控制软件的设计方法。在对CMP系统功能架构进行详细分析的基础上,利用UML对系统控制结构进行了分析设计,并用例模型、结构模型和行为模型等对系统进行了可视化建模,然后用Rational Rose 2003的正向工程实现模型到C++代码的转换,最后在此基础上用Visual C++进行系统开发和实现。     

基于多尺度特征和注意力的金融时序预测方法

金融时间序列预测是经济领域中一个非常重要的实际问题,然而,由于金融市场的噪声和波动性,当前存在方法的预测精度尚不能令人满意。为了提高金融时间序列的预测精度,提出了一种融合扩张卷积神经网络（dilated convolutional neural network,DCNN）、长短时记忆神经网络（long short term memory,LSTM）和注意力机制（attention mechanism,AT）的混合预测模型DCNN_LSTM_AT。该模型由两个部分组成：第一部分包含扩张卷积神经网络和基于LSTM的编码器,其功能在于提取原始序列数据中不同时间尺度的有效信息;第二部分由带注意力机制的LSTM解码器构成,其功能在于对第一部分提取的信息进行过滤并利用过滤后的信息进行预测。最后将所提模型在3支股指数据集和3支个股数据集上进行实验,并与其他常见的基准模型进行了对比,实验结果表明该模型相比于其他模型具有更好的预测精度和稳定性。     

Al粉对RDX机械感度的影响

为了研究加入不同含量、不同形状的Al粉后RDX机械感度的变化趋势,进行了撞击感度和摩擦感度试验.结果表明:RDX炸药中加入Al粉后,摩擦感度降低,并且Al粉含量越高,摩擦感度降低越多;而撞击感度却随Al粉的加入呈非线性的变化,Al粉含量较少时,撞击感度增大,当Al粉含量增至10%时,撞击感度增至最大,随后,撞击感度随铝粉含量的增加呈明显降低趋势.不同形状的Al粉对RDX的摩擦感度影响不同,较之球形Al粉,片状Al粉表现出较低的摩擦感度及较高的撞击感度.该研究结果为实际工作中解决含铝炸药的安全性提供了有利依据.     

热冲击对压装含铝炸药性能的影响

为评价一种黑索今基压装含铝炸药(JHL-X)的环境适应性,利用-55~70℃热冲击试验,研究了JHL-X炸药热冲击前后炸药药柱的内部损伤、安全性能和力学性能。用JHL-X炸药药柱自发火温度和冲击波感度表征了炸药安全性能,用弹性模量、压缩强度和断裂应变表征了力学性能。结果表明,经热冲击后,JHL-X炸药药柱内部主要损伤为空穴和微裂纹。安全性能略有降低,自发火温度从211℃降低至208℃,冲击波感度从51.5 mm增加到53.5 mm。力学性能变化较为显著,弹性模量和压缩强度分别提高了85.3%和37.7%,断裂应变降低29.2%。     

基于Matrox Meteor-Ⅱ/Digital的图像采集系统研究

针对Matrox Meteor-II/Digital图像采集卡配套软件不具有实时数据处理功能的问题,根据项目需要提出了一个基于Matrox Meteor-II/Digital图像采集卡的图像采集系统,并完成了系统搭建及软件设计。该系统的硬件平台由CCD、Matrox Meteor-II/Digital图像采集卡及计算机组成;软件部分基于Matrox图像采集卡的模式识别库函数（MatroxImaging Library）,用VC＋＋多线程编程来实现连续图像采集和单帧存储及实时处理等功能。试验表明,该系统操作简单、方便,且已经在实验室正常运行。     

添加剂对DNTF炸药撞击感度和成型性能的影响

研究了不同添加剂,包括石蜡(68#W)、硬脂酸(SA)和乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)、聚异丁烯(PIB)对DNTF炸药撞击感度和成型性能的影响。试验结果发现:采用68#W、68#W-SA和68#W-EVA分别包覆DNTF炸药,其钝感效果明显;以68#W-EVA或68#W-SA作添加剂,DNTF压装混合炸药的成型性能良好。     

低偏振灵敏度半导体光放大器

报道了基于混合应变量子阱材料的半导体光放大器 (SOA)。利用张应变量子阱加强了TM模的增益 ,使之接近TE模的增益 ,从而使SOA的偏振灵敏度大为降低。在 150mA的偏置下 ,获得了 2 4dB的小信号增益和 1dB的偏振灵敏度。