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基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究 总被引:3,自引:0,他引:3
涉及到一种基于PSD原理的高精度三维轮廓测量仪.X-Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式.宏工作台采用步进电机驱动,进给精度达1微米;微工作台采用精密压电陶瓷驱动,进给精度最小可达1纳米.这样,使得X-Y测量步距达到1纳米的条件下,测量物件的尺寸范围可以扩大为20mm×20mm,不仅适合微小构件的精密测量,而且适合较大器件的精密测量,且X-Y方向的位移测量精度最小可达1纳米.Z方向位移传感器采用激光单点位置探测器PSD,Z轴方向的位移测量精度达10纳米.对微轮廓测量仪的控制系统作了程序设计,得到了较满意的效果. 相似文献
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传感器技术是现代测试和控制技术的灵魂 ,传感器输出信号的质量关系到整个系统性能的好坏程度。传感器数据证实技术是测控领域中的关键技术之一 ,文中提出了基于神经网络预测器的传感器数据证实技术。首先利用神经网络对传感器输出的时间序列建立预测模型 ,然后利用该模型预测出传感器输出值 ,并用该值与传感器实际输出值之差判断传感器实际输出的可靠性和有效性 ,进而减小不同环境噪声对传感器输出数据的影响。同时 ,为了实现在线应用 ,采用了遗传算法对神经网络的优化技术。实践表明 :文中提出的基于神经网络的传感器数据证实技术对缓变信号和快变信号都有很好的效果 相似文献
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本文以显像管隔离器的偏转线圈为例,研究了复杂曲面的测量方法及型面设计,给出了设计方法及数学模型。由于所建的模型直观明了,很容易在计算机上实现,因而可在生产实际中普遍推广和应用。文中应用该数学模型编制了相应的计算机程序.对显像管隔离器偏转线圈80个截面进行了测量与数据处理,得出了描述型面曲线和型心的数学表达式,标准偏差和应用该方法的相关系数。经验证,能收到满意的结果.为在坐标测量机上研究复杂曲面的造型设计提供了行之有效的方法. 相似文献
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