一种集成式多参数硅微传感器

为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器.该传感器包括压力、温度和湿度传感器.各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成.该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成.测量电阻通过离子注入B 形成扩散电阻.为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置.温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿.芯片大小为5mm× 5 mm.试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度.     

对称度误差的测量和评定

本文为评定对称度误差提出一种新算法,用所建数学模型经微机对测量数据进行处理,以获得误差的实际值,为按独立原则标注对称度公差的要素提供一种较为精确的评定方法。     

网格分布孔组位置度误差评定的新方法

提出了一种评定网格分布孔组位置度误差的新方法.对孔组几何图框固定、旋转、平移以及既平移又旋转等情况分别进行了讨论.用最小二乘法和最优化方法编制了相应的计算机评定程序.经过校核,该算法符合形位公差标准的规定,克服了通常所用的图解法既复杂又不易获得精确结果的困难.     

在坐标测量机上检测复杂曲面形状误差的理论与方法研究

 介绍了在三坐标测量机上测量和评定面轮廓度误差的数学模型,和应用最优化方法用Ｔｕｒｂｏ  Ｃ语言编制的计算机程序,经校核验证,该算法符合形位公差国家标准的有关规定.     

双光路光纤液位测量系统的研制

介绍了一种用于光纤液位传感器的电路测量系统。根据光纤光强调制的特点,设计了一种采用LD激光器以及能够进行对称补偿的双光路接收电路,消除了外界环境非测量因素的干扰。经现场试验,得到了理想的测量结果,证明可用于石化工业等危险环境的液位高效在线连续测量。     

评定厚板零件孔组位置度的新方法

本文提出了一种评定厚板零件孔组位置度误差的新方法，并建立了相应的数学模型。此方法不仅可以用最小二乘法和最小区域法计算出厚板零件孔组位置误差值，而且还可以得到表征被测孔实际轴线形貌的特征参数。     

药物控释MEMS系统中微型泵的设计与仿真

本文探讨了一种医疗用微药物控释系统，对其关键器件-微型泵、微型阀进行了设计、建模和仿真。选取双金属片加热式膜片泵的模式，设计了泵的入口、泵腔、上下两片双金属加热膜片、多晶硅加热电阻、两个被动式微型阀、流体沟道和出口。全部工艺采用微型机电系统(MEMS)技术加工制作。为了确定所设计的微型泵的尺寸，对泵腔进行了模型分析，以使其在最大容积与最小的模型尺寸间达到最优。采用有限元分析法对电场热效应进行了仿真。基于仿真结果，进行了微型泵系统的加工制造。     

坐标测量机上建立测量坐标系的理论与方法

本文研究了在三坐标测量上测量零件时，建立测量坐标系产生的测量误差，指出了用测量坐标系体现基准时。基准要符合最小条件，并论述了三种建立测量坐标系的方法，其中多点法中盾线拟合法还可以对直线度，平行度，垂直度等形位误差进行测量与评定，收到了满意的效果。     

关于建立测量形状误差数学模型的研究

本文通过分析和研究计量测试中误差分离技术的有关文献,提出用圆和圆柱形成法建立在线或在位检测工件形状误差(直线度、平面度、圆度、圆柱度、线轮廓度和面轮廓度)的数学模型。