一种测量光刻机工件台方镜不平度的新方法

提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。以方镜平移补偿量与旋转补偿量为测量目标,使用两个双频激光干涉仪分别测量工件台在x和y方向的位置和旋转量;将方镜不平度的测量按照一定的偏移量分成若干个序列,每一个序列包括对方镜有效区域的若干次往返测量;根据所有序列的测量结果计算出方镜的旋转补偿量;为每一个序列建立临时边界条件,并据此计算出每一序列所测得的方镜粗略平移补偿量;采用三次样条插值与最小二乘法建立每一个序列间的关系,以平滑连接所有测量序列得到精确的方镜平移补偿量。结果表明,该方法用于测量方镜平移补偿量,测量重复精度优于2.957 nm,测量旋转补偿量,测量重复精度优于0.102μrad。     

普通小球藻产油性能研究

以普通小球藻(Chlorella vulgaris)为研究对象,考察了培养时间、培养温度、起始p H、不同碳源、氮源以及不同碳氮组合对其生物量和油脂产率的影响。结果表明:当培养温度为28℃、起始p H为8,最优碳氮源分别是浓度为20 g/L的葡萄糖和浓度为1.0 g/L的尿素时,培养15 d收获,普通小球藻油脂产率可达到156.4mg/(L·d),比优化前提高51%,为今后扩大培养小球藻、提高其油脂产率奠定了理论基础。