一种新的光刻机像质参数热漂移检测技术

提出了一种新的光刻机像质参数热漂移原位检测技术（TDFM）。详细分析了该技术利用镜像测试标记检测投影物镜最佳焦面热漂移与放大倍率热漂移的基本原理。实验结果表明TDFM技术可同时实现最佳焦面热漂移（FFT）与放大倍率热漂移（MFT）的精确测量。与现有的放大倍率热漂移检测技术相比，该技术有效地解决了放大倍率热漂移技术中放大倍率热漂移受最佳焦面热漂移影响的问题，简化了光刻机像质参数前馈校正的测试过程，测试成本与耗时均减少50％。     

湘江水生植物对三种重金属的吸收研究

研究了湘江水生植物蓼、水葫芦吸收和降解重金属的能力,开展了其吸收重金属铜、锌和铅(Cu、Zn和Pb)的室内模拟实验。实验结果表明,水生植物对三种重金属均有不同程度的吸收,蓼和水葫芦对铅的净化效果最为显著,吸收率分别可达到98.8%和98.2%;对重金属铜的净化效果次之,吸收率分别也可达到98.1%和94.2%;对锌的净化效果最弱,吸收率分别为82.6%和74.1%,但吸收效果也非常可观。     

特超稠油油藏边水淹特征及技术对策

特超稠油蒸汽吞吐进入高周期开发阶段后 ,由于长期降压开采 ,油藏内部压力大幅下降 ,边水推进严重 ,导致储量利用率低 ,资源浪费严重。通过对河南油田特超稠油油藏热采边水淹状况分析 ,归纳出特超稠油边水淹特征 ,提出了配套治理技术对策 ,改善了特超稠油边水淹区可利用储量开发效果。     

一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法

提出一种精确检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法.将对准标记曝光到硅片表面并进行显影;利用光学对准系统测量曝光到硅片上的对准标记理论曝光位置与实际读取位置的偏差;由推导的位置偏差与非正交因子、坐标轴尺度比例、过程引入误差的线性模型,根据最小二乘原理计算出干涉仪测量系统的非正交性.实验结果表明,利用该方法使用同一硅片在不同旋转角下进行测量,干涉仪测量系统非正交因子的测量重复精度优于0.01μrad,坐标轴尺度比例的测量重复精度优于0.7×10-6.使用不同的硅片进行测量,非正交因子的测量再现性优于0.012μrad,坐标轴尺度比例的测量再现性优于0.6×10-6.     

淡竹叶抗菌粘胶纤维前期制备的研究

将具有抗菌功能的淡竹叶提取物水溶液加入到粘胶纺丝液中,根据普通粘胶纤维的生产工艺,制备淡竹叶抗菌粘胶共混膜,并测试其表面性能、力学性能和抗菌性等。实验结果表明淡竹叶抗菌共混膜表面光滑均匀,断裂强力大于纯粘胶共混膜,淡竹叶抗菌共混膜具有较好的抗菌性,为淡竹叶抗菌粘胶纤维的制备提供了参考。     

特超稠油油藏边水淹特征及技术对策

特超稠油蒸汽吞吐进入高周期开发阶段后，由于长期降压开采，油藏内部压力大幅下降，边水推进严重，导致储量利用率低，资源浪费严重。通过对河南油田特超稠油油藏热采边水淹状况分析，归纳出特超稠油边水淹特征，提出了配套治理技术对策，改善了特超稠油边水淹区可利用储量开发效果。     

光刻机投影物镜像差的现场测量技术

为了在光刻机工作过程中保证投影物镜的成像质量．人们开发了一系列投影物镜像差的现场测量技术。对目前国际上常用的几种高精度投影物镜像差现场测量技术进行了分析和比较。     

一种新的光刻机多成像质量参数的原位检测技术

随着光刻特征尺寸的不断减小,尤其是随着分辨力增强技术的使用,像质参数的原位检测已成为先进的投影光刻机中不可或缺的功能。然而现有的每种技术均只能检测有限的几种像质参数。提出了一种新的基于像传感器的光刻机多成像质量参数原位检测(MIQM)技术。该技术通过对原有的测量模型进行修正和扩展,从而在精确测量低阶成像质量参数的同时能高精度地测量高阶成像质量参数。此外,该技术是基于空间像测量的像质参数原位检测技术,从而具有速度快、稳定性好等优点。通过该技术的低阶像质参数测量精度与原有技术相近,而高阶像质参数测量重复精度优于1 nm。实验结果表明该技术能一次完成步进扫描投影光刻机的多个像质参数的精确测量,从而简化了光刻机像质检测过程,大量节约了测量时间,有效避免了像质参数之间的互相影响。     

浅薄层特超稠油吞吐转蒸汽驱油现场试验与推广

蒸汽驱油技术是稠油油藏经过蒸汽吞吐开采以后，进一步提高原油采收率的主要热采阶段，依靠蒸汽吞吐开采，只能采出各个油井井点附近油层中的原油，采收率一般为18%-26%，井间留有大量的剩余油富集区，采用蒸汽驱开采可以扩大波及体积，从而提高驱油效率，达到提高最终采收率目的。     

一种测量光刻机工件台方镜不平度的新方法

提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。以方镜平移补偿量与旋转补偿量为测量目标,使用两个双频激光干涉仪分别测量工件台在x和y方向的位置和旋转量;将方镜不平度的测量按照一定的偏移量分成若干个序列,每一个序列包括对方镜有效区域的若干次往返测量;根据所有序列的测量结果计算出方镜的旋转补偿量;为每一个序列建立临时边界条件,并据此计算出每一序列所测得的方镜粗略平移补偿量;采用三次样条插值与最小二乘法建立每一个序列间的关系,以平滑连接所有测量序列得到精确的方镜平移补偿量。结果表明,该方法用于测量方镜平移补偿量,测量重复精度优于2.957 nm,测量旋转补偿量,测量重复精度优于0.102μrad。