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利用射频溅射方法,制得AZO透明导电膜,并用离子束刻蚀制备绒面,得到绒面AZO透明导电膜。比较刻蚀前后光电性能及表面形貌,发现透过率稍有下降,在可见光波段透过率在80%以上;电阻率略有上升,但仍保持在10-3?·cm数量级,最低为2.91×10-3?·cm;刻蚀后薄膜表面形貌变化较大,大多数薄膜表面呈现"坑状"结构,横向尺寸在0.5?1.0μm,开口角在120°左右,表面粗糙度从7.29nm上升到36.64nm。薄膜具有较好的表面微结构,在作太阳能电池前电极方面有较好的应用前景。 相似文献
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在光栅刻划中,为了提高光栅的刻划精度,光栅刻划时的环境温度的稳定是非常重要的。运用PLC实现了中阶梯光栅刻划机工作环境温度的控制.并通过编程口实现了计算机对PLC控制过程的实时监控与数据采集,对系统的构成、功能作了介绍。较详细地讨论了系统中PLC的程序设计,编程口通信协议;给出了相应的PLC梯形图和实际监控曲线。 相似文献
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