平行二电极型气体低温等离子体设备设计的几个问题

本文在说明平行二电极型气体低温等离子体设备的概况之后,着重讨论工作室及其电极结构、载片盘、高频电源、气路及真空系统的设计要点,简要介绍几种已研制设备的性能,并对今后的研制工作特别是发展薄膜技术提出了初步设想。     

TK—95型特种扩散泵研制报告

一、引言TK—95型特种扩散泵(外观见封二)是在日本大亚(DAIA)公司DPF—3Z型油扩散泵的基础上,我们将其材质和结构上加以改进后于88年推出的新产品,是显象管生产线排气小车上不可缺少的专用高真空油扩散泵,属于消化吸收提高型新产品。该泵的研制工作于87年12月份开始。在试制过程中,长沙曙光电子管厂提供了一台大亚公司的原装DPF—3Z型泵和相应的产品说明书,并对第一台试制泵进行了试用,提出了若干改进意见。     

用射频放电法生长a—C:H膜

本文简要报导用射频放电分解碳—氢化合物生长非晶碳膜的初步实验情况。生长膜的硬度和透过率均能满足红外器件用作增透膜的要求,为进一步进行设备研制打下了可靠的工艺基础。     

TK—65型特种油扩散泵

本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。     

BK—1型焙烤炉

由机械电子工业部第48研究所研制的BK—1型显象管焙烤炉,经过半年多时间的试制和装调,目前已在湖南省津市电子管厂投产运行。BK—1型显象管焙烤炉为遂道式炉。将炉温按工艺要求调定之后,把工件(如显象管)置于不锈钢网状传送带上,以一定速度连续通过炉膛,完成工件的焙烤、退火工序。BK—1型焙烤炉是为14英寸、17英寸黑白显象管生产线设计的,按每年连续工作     

类金刚石碳膜淀积工艺及设备研制

本文介绍类金刚石薄膜的性能、应用领域及制备方法。着重报道利用射频等离子体分解碳氢化物制备这种薄膜的工艺实验及研制的设备构成。