金刚石化学机械抛光垫修整器的发展方向与前景（上）

半导体芯片的生产主要依靠化学机械抛光(CMP)工序使硅片表面平坦化，使复杂的集成电路能非常有效地工作。做为电路设计不可避免地趋向于采用高度集成和多层结构。故化学机械抛光技术必须紧跟其需要与发展。化学机械抛光垫性能的关键是采用金刚石化学机械抛光垫修整器工作时，抛光垫工作寿命期间，必须保持恒定的抛光效果。     

金刚石修整滚轮技术(上)

上世纪60年代,由于金刚石修整滚轮的出现,为磨加工业的高速、高效、高精度和降低制造成本提供了条件.随着各工业领域的技术进步,金刚石修整滚轮技术也相应获得了发展和完善.文章着重介绍了金刚石修整滚轮的制造和应用技术,并例举了国产人造金刚石修整滚轮在气轮发动机叶片之叶根榫槽加工中的应用实例.     

数控金刚石滚轮修整装置的设计

在磨削加工中,砂轮修整质量是影响加工件表面质量及精度的主要因素之一.特别是要求成型磨削的不规则型面(圆弧、角度及其交切型面)的砂轮修整,即使采用单点金刚笔数控插补修整也很难保证型面的准确性.目前,在大量成型磨削中,普遍采用金刚石滚轮修整的工艺手段.以下是对我公司在某数控外圆磨床上设计的数控金刚石滚轮修整装置的介绍,以求共勉.     

在线电解修整（electrolytic in-process dressing，EIPD）

金属基超硬磨料砂轮在线电解修整(EIPD)超精密镜面磨削技术是日本理化学研究所大森整博士等于1987年开发的超精密加工新技术，是对超精密磨削加工技术的重大改进。此技术可用于加工各种金属和非金属硬脆(如陶瓷、玻璃等)材料，适用性广泛，加工后的表面粗糙度Ra值可达到纳米级。     

高硬钢的超精密磨削

采用新型高刚性Tetraform“C”磨床对高硬轴承钢M50进行超精密磨削可获得理想的表面粗糙度(Ra<10nm)。试验表明,采用粒度76μm磨粒的CBN(立方体氮化硼)砂轮,以500μm的砂轮切深就可稳定获得Ra<10nm的表面粗糙度。这个结果相对于先前欲获得纳米表面粗糙度就必须损失加工效率的理论有了一个显著的飞跃。一般认为杯形砂轮磨削包括主磨削和光整磨削,形成了镜面,磨削的最终表面粗糙度决定于磨钝的CBN磨粒的修光作用,磨削结果表明,光整磨削区工件的脱碳对磨削表面粗糙度影响很大。采用在线电解修整砂轮能够很好的解决这一问题,它能使CBN磨粒突出并且尖锐。尽管磨粒的修光作用减弱使得零件表面略显磨痕,但这一方法保证了零件表面组织的完整。     

砂轮修整器的设计

本文主要阐述了砂轮修整器的设计结构原理,为了满足生产的需要,设计制作了砂轮修整器,安装在手摇磨床上进行修整砂轮,完成工件加工。砂轮修整器具有结构简单,轻巧,使用方便等特点,可对普通和超硬型砂轮进行整修。本砂轮修整器可安装在普通砂轮机、手摇磨床、平面磨床、内外圆磨床上,通过调节外径千分尺和转动各手柄,对砂轮凹凸圆弧,角度、轮廓面进行修整。     

3MZ1410磨床桃形圆弧砂轮的修整方法

3MZ1410磨床是轴承行业普遍应用的专用轴承外圈沟道磨床,其修整器工作原理是金刚笔以一定的半径绕圆心旋转修整砂轮,因而对于由两段不同圆心的圆弧组成的桃形沟道来说,砂轮的修整无法实现。四点接触球轴承外圈沟道呈桃形,组成桃形的两个半圆弧曲率有相同和不同两种。下面分别介     

金刚石砂轮电解修整磨削液的防锈性能研究

分析几种防锈添加剂对金属结合剂金刚石砂轮电解修整磨削液防锈性能的影M向，通过试验确定了几种防锈添加剂的合理含量，以及不同氯化钠电解液浓度所对应的各类添加剂含量。论文确定了金刚石砂轮电解修整磨削液的基本组成，并进行了电解修整磨削液的电解性能试验。     

修整蜗杆砂轮用滚轮研究

本文就如何开发高精度、高耐用度修整蜗杆砂轮用滚轮,提出了一套研究方法.并进行了实验,得出了可行性结论.     

多层烧结超硬磨料工具现状综述与未来发展构想

综述了当前针对多层烧结超硬磨料工具磨料易脱落、磨料出刃难、磨料出刃后出露程度保持难以及磨料的随机分布导致工作面上磨料负荷与磨削过程的失衡所采取的相关对策与措施。介绍了已开发成功的新一代单层钎焊超硬磨料工具及其带来的启示。提出了以钎焊代替烧结,借鉴多孔金属材料生产工艺开发磨料与孔穴三维协同择优排布制造多层烧结超硬磨料工具换代产品的新构想。