等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜

集成电路的高速发展为铜互连提出诸多要求,其中,如何低温条件(≤150℃)下在大深宽比的通孔或沟槽中沉积保形性好、纯度高、导电性好的铜籽晶层是亟需解决的问题。本文利用等离子体增强原子层沉积技术,以脒基铜为铜前驱体,以氢等离子体为还原物质,在较低的沉积温度(100℃)下,沉积了纯度高、导电性能优良的铜薄膜。在10∶1的硅基沟槽中,表面与沟槽底部厚度均匀(~80 nm)。考察了放电输入功率对薄膜形貌的影响并利用时间分辨发射光谱技术对氢等离子体进行在线诊断。本论文研究表明铜脒基前驱体用于低温等离子体辅助原子层沉积工艺,可有效地解决铜薄膜沉积过程中铜粒子的团聚问题,并为其它类脒基前驱体进行金属薄膜的沉积提供借鉴。     

妨害视角下的城市土地用途控制探析——以美国为例

用途是土地利用的要素,控制用途也是土地利用规划的核心。市场经济下土地用途受到多种因素的影响,带有很大的不确定性和灵活性,相应地也给我国传统的用途控制带来很多问题。论文以美国为例,通过回溯西方现代土地利用规划的产生和发展演变,探讨市场经济下控制用途的核心价值观,以此为我国的用途控制提供思路。论文总结出妨害是其中的核心概念,土地利用规划应在排除妨害的基础上建构具有灵活性的用途控制体系。     

复合涂膜剂对海南咸水鸭蛋的保鲜

采用羧甲基纤维素钠(CMC-Na)与纳米二氧化钛(nano-TiO₂)2种材料进行复合,通过研究复合膜的性能,找出较合适的二氧化钛含量,用于咸水鸭蛋的涂膜保鲜研究。结果表明羧甲基纤维素钠膜中添加适量纳米二氧化钛能增强其抗张强度,降低水蒸气透过率和溶胀性能,添加4%nano-TiO₂的复合膜的综合性能较好。以CMCNa/4%nano-TiO₂的溶液涂膜咸水鸭蛋,考察其对蛋贮藏期间失重率、蛋清pH、蛋黄指数、哈夫单位、菌落总数等新鲜度指标的影响,发现不经涂膜的空白组贮藏到21 d时,已不适宜消费者食用,而CMC-Na/nano-TiO₂涂膜组到42 d时,还在可食用范围内,不添加nano-TiO₂的CMC-Na涂膜组可以将鸭蛋保鲜至35 d。所以CMC-Na涂膜可以延长咸水鸭蛋的贮藏期,添加nano-TiO₂的涂膜组比未添加的效果更好。     

三环减速器内啮合变位的研究及改进

三环式少齿差减速器设计的关键问题在于内、外齿轮变位传动的设计。介绍了一种用CAD法研究少齿差动轮系内、外齿轮变位系数设计的改进方法,并利用mathcad对其进行重复修改、调整,最终得到符合要求的变位系数。     

导尿管相关性尿路感染的预防与控制

综述了导尿管相关性尿路感染的感染途径及发病机制,导尿管相关性尿路感染发生的危险因素及有效预防控制措施,主要包括医务人员手卫生.严格执行无菌操作技术,留置导尿系统选择,保持尿液通畅,定期更换尿袋及膀胱冲洗,严格掌握适应症及抗生素的选择.认为降低尿路感染率可减少住院费用和死亡率.     

电能计量装置运行评价方法研究

通过综合分析设备基础信息、运行环境、现场检验记录、历史数据、运行工况等方面的数据,以一个0～10之间连续变化并与时间相关的单一数值(健康指数HI)来反映电能计量装置中每一类设备的运行状态.根据设备出厂日期、投运日期、安装环境以及电网运行环境,得到设备初始健康指数,再根据实际运行中遇到的检验数据、历史数据、运行工况等各种状况折算成系数来修正初始健康指数,最终得到设备当前状态的健康指数,从而对电能计量装置的运行工况做出评价.     

质量管理和质量保证国家标准与军用标准不同点之谈

我国国民经济和社会发展的“九五”计划和2010年远景目标纲要中提出：“要继续实行军民结合，平战结合，要进一步调整国防科研和工业的结构，加快军工企业转产民用的规划、引导和协调工作，加快运用军工高技术开发民用生产的步伐。”因此，新时期军工质量体系的建设要和这样一个远景目标相吻合。一个企业既要搞军品，又要搞民品，但只有一个质量体系，如何解决这个矛盾呢？军品的质量关系到国家的安危，关系到部队的战斗力和生存力，民品的质量同样关系到事业的成败，因此，必须兼容两套标准的要求建立一个军民一体化的质量体系。这样，不少…     

红外辐射光谱在玻璃和熔体结构研究中的应用

介绍了FT-IR辐射光谱的理论基础和利用5-DX FT-IR光谱仪进行辐射光谱测量的方法，讨论了样品的自吸收效应，加热温度、选择性反射带和粒度以及衬底等物理条件对红外辐射光谱的影响，最后介绍 了FT-IR辐射光谱在玻璃和熔体结构研究中的应用。     

加速发展我国地下溶浸采矿技术

本文阐述了地下溶浸采矿技术及其优点，适用范围及基本条件。论述了开发这一新技术的必要性，重要性和战略意义，介绍了国内外该技术的发展水平和研究现状，并指出了地下溶浸采矿技术的发展目标和发展原则。     

制粒堆浸技术处理含泥铜矿

介绍制粒堆浸技术的技术特点和适用范围，评述了国内外的研究和应用现状，指出国内该项技术的发展趋势。制粒堆浸工艺的关键是选择或制备适合矿石特点的制粒粘结剂，保证较高的粒矿湿强度；其适用于含泥粘土矿、选矿尾矿和粉矿量大的矿石的处理。美国金矿堆浸生产中60％－70％的堆浸厂采用制粒堆浸工艺，智利的铜矿堆浸有50％采用制粒堆浸。金的制粒堆浸技术在我国已应用于10多个厂矿。大冶铜录山矿的高含泥氧化铜矿实验室柱浸试验及大冶铜山口矿高含泥化铜矿半工业试验均取得较好结果，在我国该项技术要向产业化、规模化发展，并带动相关产业和技术的发展。