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超精密伺服系统控制与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
随着智能微纳器件和高性能数字系统的飞速发展,超精密伺服技术已逐步成为信息存储、精密成像、半导体装备等新兴行业的核心技术.本文从微纳操控领域的设计和控制问题着手,首先介绍了超精密伺服系统的设计及分析方法,进而阐述了超精密伺服系统对控制理论提出的诸多挑战.特别针对这类系统中广泛存在的模型不确定性及高阶未建模动态特性,非线性迟滞特性及执行机构饱和非线性,多源复杂干扰并存情况的抗干扰控制问题,以及面向复杂轨迹的高精度跟踪控制问题,给出了具有代表性的控制算法和应用实例.本文最后以高精度直写式真空蒸发系统为例,介绍了超精密伺服技术在现代精密仪器设备中的重要应用. 相似文献
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针对全尾砂絮凝沉降影响因素多、最优参数计算繁琐的难题,采用均匀设计实验方法,进行多因素影响下絮凝沉降实验研究,探究某矿区全尾砂最佳沉降效果的条件。利用统计软件SPSS进行多元回归分析,得出沉降速率与絮凝剂单耗、尾砂浓度、pH值之间的非线性关系,同时确定了全尾砂最佳沉降参数,实现尾砂高效快速脱水目的。通过研究得出了含泥量高、粒径细的全尾砂的沉降规律,为矿区低浓度尾砂浆的高效利用提供技术支撑。 相似文献