高功率脉冲磁控溅射制备的TiN薄膜 应力释放及其结合稳定性研究

目的 探究高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）制备的氮化钛（TiN）薄膜在自然时效过程中,应力、薄膜/基体结合性能随时间的变化规律。方法 采用高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）技术,通过调控基体偏压（-50、-150 V）,制备出具有不同残余压应力（3.18、7.46 GPa）的TiN薄膜,并采用基片曲率法、X射线衍射法、划痕法和超显微硬度计评价了薄膜的应力、薄膜/基体结合性能、硬度随时间的变化规律。结果 在沉积完成后1 h内,-50 V和-150 V基体偏压下制备的TiN薄膜压应力分别在3.12~3.39 GPa和7.40~7.55 GPa范围内波动,薄膜压应力没有发生明显变化;沉积完成后1~7天,平均每天分别下降28.57 MPa和35.71 MPa;7~30天,平均每天分别下降2.08 MPa和2.50 MPa;30~60天内,平均每天分别下降1.67 MPa和7.00 MPa。其压应力连续下降,且均表现出前期下降速率快,后期下降逐渐放缓的趋势。自然放置60天后,应力基本释放完毕,薄膜性质基本保持稳定。同时,薄膜/基体结合性能随时间逐渐变差,薄膜硬度下降。结论 HPPMS制备的TiN薄膜在自然时效过程中,其残余应力会随时间增加,连续下降,进而影响薄膜的力学性能。     

从数字看全球租赁业

租赁从以租借这种最简单的形式开始,发展到今天已经有几百年的历史,租赁的发展历程需经历传统租赁、“简单”融资租赁、“创新”融资租赁、经营租赁、新产品、成熟6个阶段,租赁方式也在不断地创新。我们从图1可以看出,全球的租赁交易量从1984年的1102亿美元,上升到2003年的5117亿美元,增长了4015亿美元,呈快速发展的态势。遗憾的是中国目前没有这方面的统计数据。表1显示,2003年,在租赁交易量、市场渗透率方面,美国继续排在榜首,交易量远远高于排在第二位的日本,中国从2001年的22名,下降到25名,交易量只有21.1亿美元,这与近几年中国的租赁业…     

淋浴房，大讲究

去年7月，武汉一女士购买了一款淋浴房，岂料她在9月第一次使用该淋浴房时，淋浴房突然爆炸，玻璃砸伤了她的背部、四肢。另外，在其他地方，也发生过类似的淋浴房“自爆”事件。虽然，事后相关厂家对事件都做了妥善处理。但是，作为普通消费的你，是不是心里总还存有难解的疙瘩？     

父爱如火

当再一次接到父亲的来信时,我感动的哭了,默默地想了一个整夜。 满满地五页纸上,凝聚着父亲对儿子的爱与关怀,字里行间感情渗透纸背,顺着十指,如一股暖流直涌我的心坎。我尊敬父亲,不仅仅是因为,我的体内流淌着他的血液,还因为父亲曾经也是一名军人。但是一直以来,我都不肯原谅父亲,理解父亲,直至当他的儿子又穿上军装,在车站挥手送别的瞬间,父子之间依然没能解除那道感情上的隔阂。     

我国正考虑建造五条跨海隧道

据报道，我国正考虑在最近的20-30年内建造5条跨海隧道。这5条跨海隧道分别是：大连至烟台的渤海湾跨海隧道；由上海到宁波的杭州海湾工程；连接香港澳门与广州、深圳和珠海的伶仃洋跨海工程；连接广东和海南两省的琼州海峡的跨海工程；连接福建和台湾的台湾海峡跨海工程。     

铜材：家装新宠

1铜水管:最高级的供水管道铜管是行家公认的最高级的供水管道,尤其是热管道。这是因为铜水管材具有下列优点:(1)优良的性能。强度大;韧性好;延展性强;导热和导电性能优异。(2)适配性强。管径直径范围大,可从6mm～250mm任意选用,安装简便,易于维修和保养。(3)经久耐用。铜的化学性稳定,耐腐蚀,能在各种不同环境中长期使用而不损坏。(4)卫生健康。铜可以说是“具有绿色面孔的红色金属”,它能抑制细菌生长,保持饮用水清洁卫生。另外,铜还是人体所必需的微量元素。(5)优异的价格性能比。虽然铜水管的第一次投资约为镀锌铁管的2.5倍,但其使用寿命…     

日本:筑波科学城

筑波科学城是为了缓解东京的城市压力、实现城市发展由"单极"向"多极"的战略转移,迁建的政府机关研究机构.同时,也是发展科学技术与提高高等教育水平而规划建设的.筑波科学城开创了日本近现代"新城建设"的先河.     

舒适无主义

居室已经进入了这个年代，人越来越多．房子也越来越多．人的想法也越来越多。于是房子也有了多种姿态，时代载着“家”超越了过去．人们的生活现发生变迁．理想的、病态的、困惑的、标榜的、主义的、风格的、品味的……然而家却离不开舒适。     

我国建筑层数为何多用偶数

建筑与民风有关，而建筑层数与各民族的习俗也有内在的联系。