叠层光刻胶牺牲层工艺研究

通过溅射电镀种子层前预烘胶与严格控制烘胶温度变化速率、用KOH稀溶液去胶、再用稀腐蚀体系加以轻度超声干涉去除电镀种子层和使用丙酮与F117进行应力释放等方法改进工艺后,解决了在叠层光刻胶牺牲层工艺中极易出现的烘胶龟裂、光刻胶不容易去除干净、去除电镀种子层时产生絮状物和悬空结构释放时易黏附等问题.运用叠层光刻胶牺牲层改进工艺可以制备出长4 mm,悬空高度20 μm,平面误差不超过3 μm的悬空结构.     

紫外固体激光器在微加工中展现出高精度和可靠性

现代工业需要高功率、高精度和可靠性好、适配性强的切割和钻孔工具,激光在精密的机械加工中已经成为有力的工具,它能对从不锈钢、钼到聚酯薄膜及其织物等大范围的材料进行切割和钻孔.现在激光器的使用寿命可以延至数千小时而不会减少.最近的紫外(UV)激光器,尤其是准分子激光器以及最近出现的、以二极管激光泵浦的三倍频Q开关矾酸盐激光器,已经在各种微加工的应用中将加工的精度和可靠性提高到了一个新水平.     

MEMS螺线管型电感器正负胶结合的加工工艺

MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点，其用途或潜在用途相当广泛 。为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器，在充分利用SU-8特点的基础上，结合使用正胶AZ-4000系列和负胶SU-8系列，新开发了UV-LIGA多层微加工工艺，它主要包括：在基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层，涂布正胶，紫外光刻得到电镀模具，电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯；在完成下层和中层后，分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台，即涂布负胶覆盖较下层结构，光刻开通往较上一层的通道并使SU-8聚合、交联以满足性能要求。实验表明该工艺是可行和实用的。它除了可用于螺线管电感器的加工，还可以用来加工其它三维结构的MEMS器件。     

现代微加工技术与核靶设备

现代微加工技术是制备具有微米，亚微米甚至纳米结构器件的重要手段。文章介绍了现代微加工工艺中的薄膜技术，图形技术以及刻蚀技术，根据核靶技术的发展，阐明了现代微加工技术在核靶制备领域的广阔应用前景。     

细胞微图型化技术

对目前细胞微图型化的概念与适用微加工工艺尤其是软刻技术作了探讨，其中包括微压印法、微流体图型化技术与漏印板图型化方法等。进一步，从单种细胞的微图型化与不同细胞的微图型化共培养两个方面，对许多基底材料(包括非生物性的与生物性的)实现细胞微图型化的加工策略(包括基底的几何形貌与化学修饰剪裁等)，以及这些微图型化基底对细胞贴附与铺展的规约和对细胞后续生存生长等功能的影响等方面的研究进展作了回顾与讨论。     

发展中的微加工技术

本文描述了正在发展中的微加工技术 ,主要包括光学加工技术和精密机械加工技术。1　非球面加工　　非球面加工是光学零件加工中的重要技术之一。在最初开发冲压玻璃技术时 ,没有人会预料到它会取得划时代的进一步。直到人们对轴外非球面加工、大型非球面加工进行深入的研究之后 ,才感到这项技术已成熟。其间发表了大量的相关论文 ,如介绍了用该项技术在波导上形成非球面透镜等 ,从而形成了微非球面加工这一新领域。2　微加工　　本文所描述的微加工并非传统意义上的微加工 ,其加工对象是亚毫米到毫米级部件。这项技术不仅在光学领域 ,而且在…     

铁芯和空芯螺线管型微电感器的性能比较

为了满足RF电路、电源电路、微执行器和微传感器等领域对高性能和工艺简单的电感器的广泛需求，用正、负胶结合的微加工工艺，在硅基片上制作了有坡莫合金铁芯的和在玻璃基片上没有铁芯的、其它结构和参数均相同的两种螺线管型微电感器，测试了它们在1－40MHz频率范围的电感、电阻和Q因子，并进行了比较和讨论。其结果与现有理论知识相一致。实验证明了具有坡莫合金铁芯的螺线管型微电感器在低于30MHz的频率下使用更有意义。而无铁芯螺线管型微电感器还可以用于更高频率的场合。     

飞秒激光多脉冲烧蚀研究进展

由于飞秒脉冲在烧蚀固体材料时的独特机制，在材料激光微加工方面有其突出的优点，表现出极大的应用潜力。本文主要就国内外多脉冲飞秒烧蚀研究的进展作一简介，包括多脉冲烧蚀的特点，现有的烧蚀机制分析及其应用前景等。     

硅微机械加工技术

微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。     

华工激光设备在冶金行业得到广泛应用

与传统加工手段相比，激光加工具有高质量、高效率、低能耗等优势。激光在材料加工和微加工领域解决了许多传统加工方法无法解决或很难解决的难题。也正因为如此，激光技术在冶金领域的应用受到广泛关注。