等离子体刻蚀工艺中的OES监控技术

采用光学发射光谱(OES)原位检测技术,对等离子体刻蚀机中的等离子体状态进行实时监控,讨论了其在故障诊断、分类、刻蚀终点的判断及控制方面的应用。实验平台为在新研发的高密度等离子体刻蚀机,采用化学气体HBr/Cl₂为刻蚀气体进行多晶硅刻蚀工艺实验,实验过程中所采集的OES数据通过PCA法进行分析,得到与刻蚀过程相关的特征谱线。实验结果表明：OES技术适合于深亚微米等离子体刻蚀工艺过程的终点检测及故障诊断。最后就OES技术未来发展面临的挑战进行了讨论。     

基于串并联机构的自重构移动机器人

为验证具有大输出力矩和工作空间的可重构机构对提高移动机器人运动性能的有效性,设计一种基于串并联等效球铰机构的可对接自重构多模块移动机器人.利用丝杠摇块机构构成并联机构支链,两个支链并联然后与一个旋转机构串联构成主动等效球铰机构.所提出的等效球铰机构结合并联机构和串联机构的优点,能以紧凑的结构提供较大的输出力矩和工作空间.对该串并联机构进行运动学分析,获得运动学逆解,作为机器人控制算法依据.进行机构静力学分析,获得确定驱动力和负载条件下机构的可控工作空间,为结构设计和工作路径选择提供理论指导.提出能实现平面偏差补偿和大负载能力的对接机构,实现机器人模块间的对接和脱离.设计JL-1型机器人样机,并利用该样机进行试验.试验验证了所提出串并联主动等效球铰机构和对接机构的有效性,同时证明自重构功能赋予野外机器人主动扩展地形适应性的能力,从而有效地增强机器人对环境和任务的适应性.     

耐腐蚀水性铝颜料的制备及表征

为了提高铝颜料在水性涂料中的耐腐蚀性能,以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱物,通过溶胶-凝胶反应在铝颜料表面形成了一层致密的二氧化硅包覆薄膜,通过优化固含量、溶剂种类及TEOS的用量,提高铝颜料的耐碱性。利用扫描电镜、刮板试验、接触角测试、析氢实验进行表征,结果表明:以无水乙醇为溶剂,铝金属颜料固含量为10%,升温至50℃后,逐滴加入6 g TEOS,再升温至80℃,该条件下制备的SiO₂膜包覆后的铝颜料具有优异的耐碱性,同时表面性能由疏水性转变成亲水性,对铝颜料起到了很好的保护作用。     

Rough集中U/P的快速算法

针对目前计算Rough集中U/P算法需要重复扫描决策系统、不断地进行属性值比较和排序的缺点,提出了一种基于树型结构的不可区分关系树,通过不可区分关系树实现了计算U/P的快速算法.该算法只需扫描一次决策系统,并且也避免了不断地进行属性值比较和排序.经实验验证该算法较目前基于排序的U/P算法更快,而且算法实现更简洁.     

虹膜卷缩轮提取方法研究

针对计算机辅助虹膜诊断中卷缩轮提取问题,提出基于最大能量和提取虹膜卷缩轮的方法.在规一化的虹膜图像中,定义整个灰度梯度为水平灰度梯度和垂直方向梯度之和,通过在整个规一化图像中搜索最大灰度梯度和曲线,卷缩轮的提取问题转变为求最大灰度梯度和问题,实验结果表明该方法的可行性与有效性.     

知识辅助的数控机床ICAID系统设计与实现

以开发基于网络的数控机床工业设汁ICAID系统为目标,以工业设计过程中的知识研究为线索,进行了以获取设计过程隐含知识为目的的口语分析实验．从数控机床外观造型设汁所需的知识辅助角度提出了ICAID系统的知识处理模型、功能模块和设计流程规划,片在此基础上构建了系统的技术实现框架．通过若干知识表达和应用模块的具体实现,初步构建了具有知识辅助功能的数控机床工业设计ICAID系统。     

并行调试中的若干关键问题

1.引言程序的调试技术对于计算来说是很重要的,因为抛开性能不谈,程序的正确性是编程者追求的最终目标。然而随着科学的发展,需要解决的问题的规模越来越大,传统的串行计算模式已经难以满足需要,于是并行计算模式被提出。那么调试这一必需的功能也要被放到并行计算环境中重新考虑,从而提出了并行调试的概念。     

面向大规模微博消息流的突发话题检测

突发事件在微博中迅速传播,产生巨大的影响力,因此,突发舆情受到政府、企业的广泛关注.现有的突发话题检测算法只考虑单一的特征实体,无法处理微博中新词、图片、链接等诱导的突发.面向大规模微博消息流,提出一种无需中文分词的实时突发话题检测框架模型.模型依据消息流动态调整窗口大小,并通过传播影响力度量实体的突发权值.采用高阶联合聚类算法同时对实体、消息、用户进行聚类分析,在检测突发话题的同时,得到话题的关联消息及参与用户.对比实验结果表明,算法的准确性高,能够更早地检测到突发话题.     

化学清洗在某加氢裂化装置高压空冷器上的应用

对炼油系统加氢裂化装置生产过程中高压空冷管束内壁介质结垢及腐蚀原因进行了分析。采用化学清洗方法对管束内壁的结垢及腐蚀产物进行清洗,提高了设备的换热效果,避免了金属表面的腐蚀,保证了装置的安全运行。     

聚酯的热性能分析

使用DSC差示扫描量热仪对聚酯进行了热性能分析测试,分析了样品量和样品状态对聚酯热性能分析测试的影响,样品量的大小影响曲线图形,从而影响结晶度的准确分析判断。同等试样量时,整粒样品的熔点测定值略高于剪碎样品的熔点测定值。