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随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时, FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。 相似文献
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本文采用问卷调研与现场实测的方式对青岛地铁车厢内的空气品质进行了分析研究,得到了在不同乘客密度下乘客对车厢环境空气品质的主观评价,并分析了污染物在空间上的分布规律.通过研究发现,随着乘客密度的增加,车厢内的空气异味感升高,乘客对空气品质的满意率下降,可接受率升高.高密度环境下车厢内的CO2浓度和颗粒物浓度值高于低密度环境,车中区域的CO2浓度值始终高于车门区域.在高密度环境下,车门1.7m处的CO2浓度和颗粒物浓度值高于1.1 m处,而车中区域在1.1 m和1.7 m处无明显的差别. 相似文献
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晋城市新建东属蓄水池容积2万m3,为晋城市郭壁供水改扩建工程的调蓄工程,位于晋城市泽州县金村镇东属村,本工程所在地为小煤窑开采区。为确定场区内小煤窑老采空区是否会对新建水池造成影响,结合地勘资料、现场调查及当地相关工程经验,采用定性分析及定量计算的方法对该采空区进行了稳定性评价。结果表明,由于15号煤开采时间较久,深度较大,顶、底板地质条件较好,加之老窑特殊的开采、支护方式,该采空区处于稳定状态,拟建水池使老采空区产生"活化"的可能性小,采空区对工程的影响程度为小。 相似文献
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杨宇晴 张新军 赵燕平 秦成明 程艳 毛玉周 杨桦 王健华 袁帅 王磊 琚松青 陈根 邓旭 张开 万宝年 李建刚 宋云涛 龚先祖 钱金平 张涛 《等离子体科学和技术》2018,20(4):45102-111
Recent ion cyclotron resonance frequency(ICRF) coupling experiments for optimizing ICRF heating in high power discharge were performed on EAST. The coupling experiments were focus on antenna phasing and gas puffing, which were performed separately on two ports of the ion cyclotron resonance heating(ICRH) system of EAST. The antenna phasing was performed on the I-port antenna, which consists of four toroidally spaced radiating straps operating in multiple phasing cases; the coupling performance was better under low wave number ∣k_‖∣(ranging from 4.5 to 6.5). By fuelling the plasma from gas injectors, placed as uniformly spaced array from top to bottom at each side limiter of the B-port antenna, which works in dipole phasing, the coupling resistance of the B-port antenna increased obviously.Furthermore, the coupling resistance of the I-port antenna was insensitive to a smaller rate of gas puffing but when the gas injection rate was more than a certain value(1021 s~(-1)), a sharp increase in the coupling resistance of the I-port antenna occurred, which was mainly caused by the toroidal asymmetric boundary density arising from gas puffing. A more specific analysis is given in the paper. 相似文献