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在微机械开关与硅IC工艺设计和兼容方面进行了改进,获得了一种可与IC工艺兼容的RFMEMS微机械开关.采用介质隔离工艺技术把这种RFMEMS微机械开关制作在绝缘的多晶硅衬底上,实现了与IC工艺兼容;采用在金属膜桥的端点附近刻蚀一些孔的优化方法,降低了RFMEMS微机械开关的下拉电压.用TE2 819电容测试设备测试开关的电容,测得开关的开态电容、关态电容和致动电压分别为0 32 pF、6 pF和2 5V .用HP875 3C网络分析仪对RFMEMS微机械开关进行了RF特性测试,得出RFMEMS微机械开关在频率1 5GHz下关态的隔离度为35dB ,开态的插入损耗为2dB ,用示波器测得该开关的开关 相似文献
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光纤传感器在混凝土结构内应力检测中的应用 总被引:6,自引:0,他引:6
由于光纤传感器体积小,集传感与传输于一体,无电磁干扰等一系列优点,在机敏复合材料中得到广泛应用。文章提出将光纤传感器埋入混凝土结构中,实时、在线监测混凝土结构内部应力状态的变化,即一种机敏建筑结构雏型。讨论了混凝土结构中埋入光纤传感器的埋入方式,受压、受弯引起的光强输出变化与混凝土结构内部状态的关系,并对埋入光纤传感器的混凝土构件三点弯曲梁、圆柱构件进行了实验研究。实验结果表明,光纤传感器的输出变化能反映混凝土构件内部应力变化情况及裂缝的发生、发展等情况 相似文献
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光纤相位光栅的出现将极大地推动光纤通信的发展,本文主要介绍了它在激光光源、光放大器、滤波器等方面的应用。 相似文献