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气体压力施压是实现纳米压印技术中将模板压入转移介质的重要技术路径,在克服应力不均匀、保护基片和模板等方面优势明显。报道了一种旨在提高压印压力均匀性、低压力施压的真空负压紫外固化纳米压印系统的研制。制备真空腔室,腔室顶部利用弹性橡胶环结合紫外透过性好的SiO2玻璃与腔体连接,采用抽真空的方式形成负压,腔室外大气压强通过SiO2玻璃均匀地作用到压印模板上,将其压入液态紫外敏感光刻胶中,再采用紫外光固化光刻胶,分离后实现模板图形向基板的转移。压印力大小取决于腔室内外的气体压强差,通过调节腔室内部气压大小改变施加在模板上的实际压力,内部气压大小通过连通气压表观察。图形转移实验结果表明,所研制纳米压印样机系统能够实现图形的高保真转移,在基片上形成光刻胶材质的结果图形,500nm特征线宽图形转移实验结果清晰,在较大面积基片上的压印压力均匀性良好。 相似文献
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44.
瞬心寻找方案的自动规划及虚约束的识别 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了平面机构中瞬心寻找方案的规律 ,提出了一种基于关联矩阵的瞬心寻找方案自动生成规则 ,同时也建立了虚约束的识别模型 ,该方法有助于提高机构结构的自动识别和机构运动的自动分析算法的效率 相似文献
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在平面连杆机构的矢量法运动分析中,引入局部坐标系统作为数学手段,能使杆组分析的数学推导简短清淅;另外,利用局部坐标系统能够方便而规范地描述任意复杂杆件的尺寸信息,解决了含有复杂形状杆件的机构的尺寸之描述、存储与访问的难题,有效地提高了程序系统的各环节的效率。 相似文献
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提出一种空间连杆机构位置分析的新方法。首先,利用假设的开链机构实现了机构结构尺寸参数的描述与存储,再用闭链装配的数学条件直接建立位置分析矩阵方程,从而实现了对矩阵方程的直接推导并求解出位移输出量。实际的算例显示了这是一个系统和实用性都很强的方法,特别适用于计算机上运动分析算法的实现。 相似文献
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提出一种空间连杆机构位置分析的新方法,首先,利用假设的开链机构实现了机构结构的尺寸参数的描述与存储,再用闭链装配的数学条件直接建立位置分析矩阵方程,从而实现了对矩阵方程的直接推导并求解出位移输出量。实际的算例显示了这是一个系统和实用性都很强的方法,特别适用于计算机上运动分析算法的实现。 相似文献
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基于第一性原理计算方法探讨了铝合金应力/应变时效的可能机制,综合评估了时效温度和外加应力/应变对Al-Sc合金中Al3Sc固溶边界和A1-Cu合金中Al/θ''界面能的潜在影响。计算结果表明:在传统时效过程中引入外加拉应力/应变,声子态密度在高态区有红移现象,可以明显降低溶解熵;同时,导致相图中固溶线上移,表明外加拉应力/应变可降低Al3-Sc在Al-Sc合金中的极限固溶度,从而增加析出相的最大可能体积分数。外加应力/应变对Al-Cu合金中不同取向的Al/θ'',界面形成能有不同程度的影响,这种差别可以通过泊松效应进一步放大,从而影响到Al-Cu合金中析出相的择优取向。这2种机制在应力/应变时效中均可能发挥重要作用。 相似文献
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目的 调查分析浙江省长兴县一起毒蘑菇中毒事件中毒蘑菇的种类,分析事件发生原因,总结调查处置经验,为中毒患者的救治和中毒的预防提供借鉴。方法 对中毒事件开展现场流行病学调查,对毒蘑菇样品进行形态学鉴定和分子系统学鉴定。结果 本次毒蘑菇中毒事件共发病3人,其中1例重症,2例轻症,罹患率为100%,主要临床表现为恶心、呕吐、腹泻等症状,其中1例经短暂“假愈期”后出现严重横纹肌溶解中毒症状,血清肌酸激酶(CK)最高达318 200 U/L。毒蘑菇样品经形态学及分子系统学鉴定为亚稀褶红菇。结论 本次事件是一起因误食亚稀褶红菇引起的毒蘑菇中毒事件。加强宣传教育,提升民众防范意识,提高医疗机构的诊断救治能力是预防毒蘑菇中毒的关键。 相似文献
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