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为了提高熔石英元件的抗激光损伤能力,采用基于氢氟酸刻蚀的湿法化学技术去除元件内的激光损伤诱因。利用不同的氢氟酸溶液处理经氧化铈抛光的熔石英元件,并对元件的刻蚀速率、表面洁净度、粗糙度、透过率和激光损伤性能进行评价。研究结果表明,与传统的静态刻蚀相比,在质量分数为6%的氢氟酸刻蚀溶液中引入能量密度约为0.6 W/cm^2的兆声能量对元件的溶解速率和激光损伤性能没有明显的提升作用;化学刻蚀产生的沉积物对元件表面粗糙度和透过率均有不利影响,且沉积物比例与所用的刻蚀液成分和浓度密切相关;经质量分数6%或12%的纯氢氟酸溶液刻蚀(5±1)μm深度后,熔石英元件的激光损伤阈值相比于未刻蚀元件提升了约1.9倍;熔石英元件的激光损伤性能与表面粗糙度和透过率之间不是简单的线性关系,但激光损伤阈值较理想的元件(>20 J/cm^2@3ns)往往具有较光滑的表面,即表面粗糙度<2 nm,由此可以确定有利于熔石英元件激光损伤性能的刻蚀条件,并获得元件表面粗糙度的控制指标。 相似文献
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微生物的生命过程是相当复杂的。为了实现发酵过程的优化策略,必须了解发酵过程客观功能之间复杂因素的关系。本文主要从过程控制的角度讨论发酵过程的优化策略,以及整个发酵生产过程工况处于产率及经济效益最佳的优化方法。近年来,有关发酵过程优化的研究报道越来越多,这些研究主要通过以下二种途 相似文献
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用户磁盘配额可实现集群系统中分布式文件系统资源的管理和控制.在分布式文件系统中常使用多数据服务器来扩充文件系统的存储空间、提高并行数据IO的能力.结合NFS,Lustre中分布式配额实现方式,提出了一种适合对等存储模式下的用户磁盘配额策略.该策略使用静态设置和动态调整相结合的方式,能够很好地解决多数据服务器用户配额使用空间不均匀的问题;它可以运行在全局文件系统的所有客户端,避免了单客户端节点失效的问题,且对文件系统性能影响较小. 相似文献
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