石英湿法腐蚀及侧壁晶棱修平工艺研究

以石英陀螺的微结构为研究对象,对石英的湿法腐蚀规律进行研究.选用500 μn厚Z切向石英片,蒸镀10 nm厚Cr膜和200 nm厚金膜作为掩模层,选用40%氢氟酸和40%氟化铵的1:1混合溶液作为腐蚀液.通过在不同温度下的腐蚀试验,表明腐蚀速率随温度增加而增大,温度过低腐蚀过慢影响腐蚀效率,温度过高使石英侧壁表面粗糙度增加.经过试验摸索,在70℃下腐蚀,可获得表面质量较好的石英微结构.石英在湿法腐蚀中结构侧壁会产生两级晶棱,根据侧壁主要晶面的腐蚀速率,计算出修平侧壁两级晶棱所需时间分别为8h和27h,经过试验验证,在预计时间内,石英侧壁晶棱基本修平.     

基于多体系统理论的数控机床加工精度预测系统

研究了基于多体系统理论的数控机床加工工件表面建模和加工精度预测建模的机理,基于虚拟加工技术,开发出了数控机床加工精度软件预测系统.最后,为了验证开发的精度预测系统的有效性,在对包括几何误差、热变形误差和力变形误差在内的机床综合误差进行检测和辨识的基础上,进行了加工精度预测仿真.     

镗杆回转误差自动补偿技术研究

本文报告了用于误差测量和补偿控制的计算机辅助试验装置,和带压电陶瓷驱动器的新型液体静压轴承。文中用理论分析和试验方法对其动态特性进行了研究和分析,初步确定了选择此种轴承设计参数的一些原则,并对这种可控液体静压轴承的回转误差进行了在线测量。在以上研究的基础上用微机控制可控液体静压轴承对转轴的回转误差进行了实时补偿,取得补偿回转误差72%的结果。     

LD圆柱形封装焊后位移的定向热补偿研究

针对LD模块的圆柱形激光焊接封装,以LD耦合进尾纤的功率变化为依据,对焊接微变形引起的光纤与LD对准位置偏移进行特征分析.优化减小焊后位移(PWS)的焊接参数,提出PWS方向判定的方法,实现单束激光补焊的定向热补偿,使对准精度提高到0.5 μm内,耦合功率恢复到最佳耦合时的90%以上.     

基于绝对稳定性的异步电机转速自适应辨识方法

基于非线性控制系统的绝对稳定性定理,提出了一种新的通用异步电机转速自适应辨识方法。通过理论分析可以证明传统的MRAS(模型参考自适应方法)转速辨识算法就是该理论的一种较优实现形式,从而从另一方面证明了MRAS转速辨识方法的稳定性,并且解决了传统MRAS算法中武断的忽略磁链观测误差的问题。在MATLAB/Simulink环境下对该理论进行了仿真验证。     

保护模式软件开发环境DJGPP在实时高速数据采集中的应用

介绍一种DOS下的32位C／C^ 保护模式软件开发环境DJGPP，他通过DPMI(DOS保护模式接口)实现DOS下32位保护模式软件的开发。结合嵌入式计算机PC／104及12位DAS模块PCM—3718HG，具体说明DJGPP在实时、药速数据采集伶况下的应用，有较强的实用性。     

纳米机械和微机械中杆的晶格振动内能与比热的理论研究

根据具有简立方单原子晶体结构的纳米机械和微机械中杆的晶格振动量子化的结论，推导了杆的晶格振动内能和比热的公式，并采用了神经网络技术进行了数值计算。数值计算结果表明，单位质量的杆的晶格振动内能随尺寸的增加而增加，而比热容随尺寸的增加而减小。     

微机械陀螺的一种微弱信号检测算法的分析与仿真

针对常用的微机械陀螺微弱信号检测方法不能很好地抑制信号带内噪声的不足,提出了一种基于整周期采样的求和平均处理算法,该算法等效地实现了低通滤波和减采样的功能.仿真表明它可以完全抑制信号中混杂的一系列特定频率的周期性噪声,对带内和带外的各种噪声成分抑制效果非常显著,并且可以大大节省系统资源的占用率.     

感应电机的参数辨识

利用感应电机启动和稳态过程的简化模型,设计了一种利用最小二乘法原理的参数辨识方法,并且进行了实验和讨论。     

2-DOF冗余平面并联机构的奇异位形与冗余性研究

首先介绍一种 2 DOF冗余平面并联机构的奇异位形 ,然后分析了奇异位形对机构精度、刚度的影响 ,定义了一种机构性能的度量指标 ,最后阐述了采用驱动冗余减小和消除奇异位形影响方法及效果