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针对射频辉光放电过程中射频电源与直流偏压电源的叠加问题,通过分析阻抗匹配网络和高频屏蔽网络的工作原理,利用阻抗匹配网络将射频电源的高频能量最大效率的输出到真空室,利用高频屏蔽网络将射频电源的高频能量进行屏蔽的同时将直流偏压电源的低频能量最大效率的输出到真空室.对射频辉光放电过程中射频电源、直流偏压电源以及真空室模型进行了系统的电路仿真,实现了射频电源与直流偏压电源的叠加,利用自制的射频电源与直流偏压电源系统进行了真空镀膜实验,证实了双电源系统的可行性.研究结果表明,利用阻抗匹配网络和高频屏蔽网络能够很好地将射频电源与直流偏压电源进行叠加,由双电源系统产生的带有负偏压的高频能量能够对真空镀膜工艺产生影响,有助于探索新的镀膜工艺. 相似文献
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在印刷、造纸、木材行业人造板加工中,同步机组用途较为广泛。一般实现二个以上机组同步有二大类:一类是机械长轴传动,这种结构较复杂,造价也高,机械功率损失较大;另一类是电器控制同步,可分为电器与电子两种方法实现同步传动。卧式浸胶机是木材加工行业贴面板生产 相似文献
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区域水资源的禀赋程度既受制于自然形成的存量差异,也受制于区域经济发展导向的影响。河北省作为资源性缺水大省,如何协调水资源与经济社会发展之间的关系,实现区域内水资源的优化配置、高效利用是水利工作者面临的严峻课题。笔者试就我省区域水资源发展方向这一话题谈如下几点。 相似文献
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随着Internet的迅速发展,服务质量(QoS)正成为当前研究的热点之一。为了达到QoS的性能指标,拥塞控制作为一个很重要的方面在发挥着作用。主动队列管理是实现拥塞控制的重要手段之一,长期以来一直受到广泛的关注,基于不同理论的各种主动队列管理的算法也随之涌现。这些队列管理算法在一定程度上完成网络拥塞控制的任务,但是也不同程度地在公平性、可扩展性以及算法的复杂度上存在缺陷。本文通过对目前几种主要队列管理算法的实现原理的分析,考察了这些队列管理算法的优点和其可能存在的一些问题,而这些可能存在的问题也是下一步研究的起点。 相似文献
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基于虚拟时钟的算法在实现对资源进行公平分配的同时具备良好的可扩展性,从而能够满足QOS控制中对于分组调度算法的需求。本文主要对一些基于虚拟时钟的调度算法进行了分析和讨论,这也是进行QOS控制研究的基础。 相似文献