蚀刻腔条件对刻蚀工艺的影响研究

在ULSI制造中蚀刻腔条件的变化是导致刻蚀工艺重复性差的一个重要原因.在刻蚀过程中,一层聚合物会淀积在蚀刻腔壁上.通过XPS分析得知,聚合物的主要成分为(CF2)n.实验过程发现不同的聚合物量会影响等离子体中CF2基团的浓度.聚合物越多,CF2浓度越高;反之,聚合物越少,CF2 浓度就越低.在这种情况下,蚀刻腔上的聚合物被认为是等离子中CF2基团的一个源.CF2浓度的变化又导致最终刻蚀特性(CD,蚀刻率)的变化和工艺漂移.     

SC2100控制系统简介

ＳＣ２１００控制系统是针对油田生产过程开发研制的中小型集散控制系统,其硬件具有开放式集成化模块结构,软件采用最新流行的Ｗｉｎｄｏｗｓ环境下的组态化实时工控软件,具有直观的图形化人机界面,完备的控制功能和控制算法,应用容易方便。该控制系统还具有监视控制准确可靠,操作打印简便易行,系统运行安全稳定等特点,具有良好的抗干扰性,适用于油田各类站库控制。１．系统特性（１）模块化结构。ＳＣ２１００集散控制系统可根据需要灵活组合成不同形式、不同规模的控制系统。小至几十路Ｉ／Ｏ,大至几百路Ｉ／Ｏ,控制系统都可适…     

电解铜箔用钛阳极涂层的研究现状

电解铜箔是电子行业的重要原材料。金属钛因其密度低、耐腐蚀性能好是制备电解铜箔用阳极的理想基材。本文对电解铜箔用钛阳极进行了概述、介绍了钛阳极贵金属涂层制备方法、钛阳极贵金属涂层改性方法及电解铜箔用钛阳极涂层现存问题,并提出了今后的发展方向。     

水平管内油气水三相间歇流向环状流转换的研究

对水平管内油-气-水三相间歇流向环状流转换特性进行了理论和实验研究,建立了间歇流向环状流转变的界限方程。结果表明：间歇流向环状流转变的主要因素是气相折算速度和液相折算速度,含油率与管径的影响不大。计算结果与实验结果基本吻合。     

全新的图像显示,转换,管理工具VPIC6.0

如果您是一个电脑图片爱好者,那么VPIC是您最佳的选择.它集图像的显示、转换、管理于一身,实在是不可多得的软件.使用键盘或鼠标,它能处理多达2000个图形文件.下面笔者就从这三方面详述它的功能.【图像显示】VPIC可以显示多种格式的图像.象GIF、MAC、PCX、PIC、CUT、TGA、LBM、IFF、BMP、SCx等等.在DOS下运行VPIC.EXE后进入菜单画面.     

扭断式防盗酒瓶盖的生产与基材质量的关系

以半连续式防盗酒瓶盖生产线为蓝本,介绍了扭断式防盗酒瓶盖的生产与其铝基铝基材质量的关系,旨在为铝加工行业相同产品基材的生产提供一定的参考作用。     

三大图像浏览工具之比较

QPEG、CSHOW、WPIC是当前最流行的三种图像浏览工具。三者均具有图像显示、管理功能,(其中VPIC还有图像转换功能)。就其功能来说,它们各有千秋,但依笔者之见,QPEG更胜一筹。三者简要比较如下:     

基于改进样本驱动的高光谱矿物识别模型压缩方法

针对机载成像高光谱遥感仪器获得的大批量高光谱数据很难实现高效快速的矿物信息提取和识别的问题,提出了一种基于改进样本驱动的高光谱矿物识别模型压缩方法,对神经网络中的冗余神经元进行剪枝,从而获取高效的矿物识别模型。首先,以验证数据集中的正确识别样本为数据驱动,计算各神经元经激活函数后的输出零值频率,并将其作为该神经元重要性判据,探讨各神经元对神经网络正确识别样本的贡献;其次,通过设置重要性阈值对冗余神经元进行剪枝,并对剪枝网络进行再训练,在保留原网络正确识别特性的基础上,提升压缩模型识别精度;最终通过多次迭代剪枝获得高效的压缩矿物识别模型。利用基于改进样本驱动的模型压缩方法对基于多层感知机的矿物识别模型进行压缩改进,并以美国内华达州Cuprite矿区的机载可见光/红外成像光谱仪的高光谱数据作为测试数据,获得了压缩比3.33、矿物识别精度94.35%的高效矿物识别模型。     

生活垃圾填埋场渗滤液处理规模的探讨

研究了生活垃圾填埋场渗滤液产生的不同途径,以垃圾填埋过程及场外影响因素为研究对象,以入渗系数法为基础,提出了逐年平均法预测渗滤液产生量的公式,以此确定填埋场渗滤液处理系统的设计规模。在此基础上,结合工程实例,验证了预测方法的可靠性。     

涡轮分子泵轴系的临界转速分析

涡轮分子泵是一种工作在一阶临界转速之上的精密高速旋转机械,在设计时需要避开其临界转速。以有限元软件SolidWorks Simulation为依托,结合传递矩阵理论的简化思想,对涡轮分子泵轴系进行模态分析,并寻找其临界转速与设计工作转速冲突的最优解决方案。同时,对涡轮动叶片组的有限元简化方式进行了探讨。