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随着超大规模集成电路的发展,器件特征尺寸不断缩小,必然会出现Cu互连扩散阻挡层厚度无法进一步减小等瓶颈问题。因此,开发新型无扩散阻挡层Cu合金薄膜(Cu种籽层)势在必行。该新型互连结构在长时间的中高温(400~500℃)后续工艺实施过程中,需同时具备高的稳定性(不发生互扩散反应)和低的电阻率。基于此,首先综述了目前无扩散阻挡层结构的研究现状及问题,然后对基于稳定固溶体团簇模型设计制备的无扩散阻挡Cu-Ni-M薄膜的研究工作进行了梳理,通过多系列薄膜微观结构、电阻率及稳定性的对比,深入探讨了第三组元M的选择原则及其对薄膜热稳定性的影响。为进一步验证稳定固溶体团簇模型的有效性,对第二组元的变化进行了相关讨论。结果证实,选取原子半径略大于Cu、难扩散且难溶的元素作为第三组元M,薄膜表现出良好的扩散阻挡能力;当M/Ni=1/12,即合金元素完全以团簇形式固溶于Cu基体时,薄膜综合性能达到最优,能够满足微电子行业的要求。所有研究表明,稳定固溶体团簇模型在无扩散阻挡层Cu合金薄膜的成分设计方面十分有效,该模型也有望在耐高温Cu合金及抗辐照材料成分设计方面推广使用。 相似文献
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介绍了农药、染料、颜料、涂料、医药、食品添加剂、饲料添加剂和专用化学品等的市场现状和发展趋势。中国精细化工行业呈现出不平衡的发展态势。农药、染料、颜料的发展趋于成熟。涂料的主要消费市场是国内,但面临绿色、健康和环保升级需求。医药行业中的生物医药是当前的研发热点。食品添加剂和饲料添加剂处于发展期。专用化学品处于亟待大力发展时期。 相似文献
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铀合金作为一种重要核燃料,其体心立方结构的高温稳定的γ-U合金具有较好的综合性能,是合金设计所追求的目标。本文引入描述稳定固溶体结构的"团簇加连接原子"模型,用于建立γ-U固溶体合金的结构模型和相应成分式,指出其结构单元为体心立方第一近邻配位多面体团簇加3个连接原子构成。进而利用该结构单元对现有合金成分进行了解析,能够稳定形成体心立方bcc结构的合金均满足上述模型,如[Mo-U14]Mo3(U-10.7Mo),[Zr-U14]Nb3(U-7.5Nb-2.5Zr,即不锈铀)等,这些合金实际上均在各自体系中具有最优良的结构稳定性,显示出优异的耐蚀性。本文证实,基于团簇加连接原子模型的成分设计方法在预测γ-U合金成分与性能上具有重要指导价值。 相似文献
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随着新时代的发展各种金属材料得以在各种行业中广泛运用,在工程建设、设备加工、航空运输等都有着很高的地位。所以为了的行业作业的有效展开,金属材料的分析利用就面临着极具的考验。如何利用新的技术分析金属成分使得,金属加工行业能够制作出更科学适合不同行业的新型金属材料。使得传统技术与新技术相互结合共同作用促进金属成分分析技术更成熟化的发展,使得相关金属成分分析人员的素质加强能适应时代的发展,使得国家的工程建设能够在全球化的建设下更具有竞争力。 相似文献