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化学机械抛光中抛光垫的研究 总被引:7,自引:1,他引:7
抛光垫是化学机械抛光(CMP)系统的重要组成部分。它具有贮存抛光液,并把它均匀运送到工件的整个加工区域等作用。抛光垫的性能主要由抛光垫的材料种类、材料性能、表面结构与状态以及修整参数等决定。本文介绍CMP过程常用的抛光垫材料种类、材料性能、表面结构,总结了抛光垫的性能对CMP过程影响规律,认为:抛光垫的剪切模量或增大抛光垫的可压缩性,CMP过程材料去除率增大;采用表面合理开槽的抛光垫,可提高材料去除率,降低晶片表面的不均匀性;抛光垫粗糙的表面有利于提高材料去除率。对抛光垫进行适当的修整可以增加抛光垫表面粗糙度、使材料去除率趋于一致。与离线修整相比较,在线修整时修整效果比较好。 相似文献
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在圆盘锯机上,用金刚石单刀块锯切花岗石,测量金刚石节块在不同加工工艺参数和不同冷却液条件下的磨损量,并观察节块的磨损状况。在实验的基础上,探讨锯切条件对金刚石节块磨损的影响原因。结果表明,金刚石节块的磨损量随着锯切工艺参数的改变而改变;与水冷相比,采用GD型润滑冷却液冷却能有效地降低节块的磨损量。 相似文献
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本文对国内外锯切张紧力的理论和测量研究结果、锯条的失稳倾斜进行了全面的综述,然后根据锯切力研究的数据,采用有限元法对不同加工条件下锯条锯齿焊接根部受力和锯条的变形等问题进行了研究。结果表明,在锯切过程中锯条与结块焊接边缘两侧出现应力最大值,因此较易产生疲劳裂纹;锯条的挠度随偏心力的增大而增大;不同结块位置上的锯条受到的力和变形是不同的;在通常的切削过程中,张紧力的存在可以保证锯条的刚性,但不可能因为锯条张紧力和切削力的抵消作用,使得锯条呈现直线状并切削。仅仅在合适的加工条件下,锯条在切削段的局部区域可能表现为相对较为平直和良好的切削接触状态。 相似文献
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袁慧 《四川轻化工学院学报》1997,10(3):44-49
提出了一种新的适合于微机上进行图形生成、处理变换的三维几何造型的数据结构、该数据结构采用锭表结构形式,在计算机内部表示了构造三维形体所需的大量数据,使得在微机上处理复杂形体和生成有真实感图形成为可能,该三维几何造型数据结构在作者用BorlandC++开发的图形处理软件中得到了成功的应用。 相似文献
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因邻区侏罗系有油气发现,鄂尔多斯盆地陇东地区洪德区块成为了新的勘探目标。以洪德侏罗系延安组为例,综合岩心、测井、地震和试井资料,开展了沉积体系、构造和古地貌研究,分析了古地貌、构造和沉积储层对延安组油藏的控制作用。结果表明,延安组与延长组间存在3个局部不整合面,分别介于富县组和延长组、延(延安组)10油层组和延长组及延9油层组和延长组之间。前侏罗纪古地貌可划分为5类单元,分别为古河谷、河间丘、古阶地、斜坡带和低残丘。其中,斜坡带和低残丘利于成藏;古阶地及古河谷的延10油层组也具有一定成藏潜力。此外,多支沟交汇且经河水反复冲刷的坡嘴位置,砂体泥质组分含量低,也利于成藏。油藏可见明显的油顶及油-水界面。断裂带与砂体走向在平面上互相切割;断层上盘利于成藏,而下盘因无有效封闭遮挡,往往不利于成藏;正断裂较逆断裂更容易成藏。优质沉积储层是延安组成藏的必要不充分条件。基于古地貌、构造及沉积储层三级控藏要素组合,提出了适用于洪德地区侏罗系延安组成藏的判别方法。 相似文献
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郭剑平张亚娟袁慧李建华郭婷婷王婧荃 《辐射防护通讯》2022,(6):15-20
本文分析了维生素类和矿物质、中药提取物、多糖、藻类、蜂胶等膳食补充剂对外/内照射损伤防护的文献报道,这些膳食补充剂不仅具有辐射防护作用,而且毒副作用小,可为膳食补充剂的配伍提供研究依据。 相似文献