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化学机械抛光浆料研究进展 总被引:3,自引:1,他引:3
化学机械抛光(CMP)作为目前唯一可以实现全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到集成电路芯片、计算机硬磁盘和光学玻璃等表面的超精密抛光.介绍了CMP技术的发展背景,以及目前国内外抛光浆料的研究现状,并根据CMP浆料磨料的性质,将其分为单磨料、混合磨料和复合磨料浆料,对每一种浆料做了总体描述.详细介绍了近年来发展的复合磨料制备技术及其在CMP中的应用,并展望了CMP技术的发展前景以及新型抛光浆料的开发方向. 相似文献
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基于Kalman滤波的图像雅克比矩阵在线估计 总被引:2,自引:0,他引:2
视觉伺服机器人主要是通过系统的图像雅克比矩阵表述机器人系统的特征空间进行反馈控制.首先建立了SCARA型机器人系统,针对系统图像雅克比矩阵的物理意义,利用雅克比矩阵增量ΔJ建立系统状态方程,以Kalman滤波的方法对系统雅克比矩阵进行在线估计.在Matlab仿真的基础上对此方法进行分析,并将其运用于二维目标的跟踪,实验表明此方法的有效性. 相似文献
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如今购买MP3,理性的消费者一般不只关注价格、外观以及功能,最主要还要看机器本身的品质,看值不值它的销售价。MP3的外在品质能直观地感受到,它的内在品质又如何?那就请关注以下的介绍吧!一、MP3的基本构成图1为MP3基本构成框图,它主要以中央处理器(解码芯片)为核心构成。解码芯片首先将歌曲文件从存储体(闪存芯片或者微硬盘等介质)中读取出来,对信号进行解码;解码后的数字音频信号通过数模转换器转换成模拟音频信号;最后把还原的模拟音频信号放大并通过低通滤波后输出给耳机,这样就可以听到美妙的音乐了。二、简单分类MP3根据其存储介… 相似文献
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研究了压力法组合溶剂法一步降解环氧碳纤维复合材料的工艺,测试了降解产物成分与特性并探索了回收碳纤维再利用的可能性。利用红外光谱分析确定了其断键形式主要为醚键断裂,利用气相色谱-质谱联用分析确定了降解产物主要是丙烷和2-戊酮。利用扫描电子显微镜(SEM)表征了纤维表面树脂粘附少,再制备复合材料的界面结合良好。纤维力学性能测试确定了所回收的碳纤维仍具有良好的力学性能。复合材料力学性能测试确定了其性能损失小。研究表明,使用该方法降解效率高,回收纤维单丝拉伸强度保留率高,具有很好的运用前景。 相似文献
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