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81.
金刚石薄膜生长速度研究 总被引:2,自引:0,他引:2
在电子辅助热丝CVD中,研究刀具预处理对金刚石薄膜生长速度的影响。在保持生长条件不变的前提下,经酸腐蚀处理的刀具的侧、背面镀铜能使金刚石薄膜的生长速度从没有镀铜时的4μm/h增加到镀铜后的10.6μm/h。镀铜处理提高了刀具的电导率,使得热丝发射的电子在偏压电场的作用下,在刀具表面附近聚集,加速氢气和丙酮的裂解,从而提高金刚石薄膜生长速度。SEM和Raman测试结果表明,高速生长的金刚石薄膜仍然具有很高质量。 相似文献
82.
The nano-sized particles of anatase titanium oxide (TiO2) were obtained by hydrolysis of titanium ester (TNB) in basic media and dehydrated in acid media. And then the anatase titanium oxide was treated with nitrogen plasma. The effect of nitrogen plasma treating time on the activity of photo-catalytic reduction of the Cr2O7^2- for sample obtained was investigated. The samples were characterized by X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Transmission Electron Microscope (TEM) and Ultraviolet (UV). A peak of 396 eV in the N 1 s XPS spectra of sample obtained with nitrogen plasma treated TiO2 showed that nitrogen-doped titanium oxide (TiO2-zNx) has been obtained. The spectra of UV showed that the light absorption of TiO2-xNz obtained by nitrogen plasma treated TiO2 for 10min. had moved to the visible region. The picture of TEM and spectra of XRD indicated that the crystallographic forms and particle dimension had no apparent change for both the modified and the unmodified TiO2. When the TiO2 sample was treated for 7 min with nitrogen plasma, it exhibited best photo-catalytic activity. 相似文献
83.
煤中共伴生金属矿产是指在煤系地层中,与煤共生或伴生在一起,在煤炭开采时共同产出的具有工业价值或工业利用前景的金属矿产。山西煤炭资源丰富,储量巨大,年煤炭产量常年占全国年煤炭产量的25%左右,火电发电量常年占全省总发电量90%以上。山西煤与煤基固废中蕴藏着大量可供工业开发和利用的金属矿产,如煤中锂、镓、铝等。但目前尚无从全省的角度对山西煤中共伴生金属矿产的分布进行研究,极大地限制了从宏观政策层面对煤中共伴生矿产的战略开发。笔者根据山西煤系地层中锂镓铝的研究数据,分析了目前山西煤系共伴生锂、镓、铝的分布特征和成矿前景。认为,山西煤中太原组煤中锂含量显著大于山西组,而铝镓小于山西组;煤层夹矸中锂镓含量显著大于煤层中。山西宁武煤田平朔矿区,沁水煤田晋城矿区、霍西煤田霍州矿区、西山煤田古交矿区太原组主采煤层以及西山煤田夹矸中的锂具有良好的煤系伴生锂矿成矿潜力;山西煤中镓和铝异常高值较普遍,广泛分布于山西山西省中北部地区,且整体上从北向南依次递减。山西煤系锂镓铝资源在山西电厂粉煤灰和高铝煤矸石储量巨大,具有良好的工业开发前景,亟需对山西粉煤灰中锂和煤层夹矸中锂镓的边界品位和最低工业品位进行划定,以实现资源的循环和高值化利用。作为2种特殊的矿产资源,粉煤灰和煤矸石的综合利用应从源头开始做顶层设计,因地制宜、分类分级梯级利用。 相似文献
84.
研究了硬质合金基底上Cu/Ti作过渡层化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜的界面特性.利用激光Raman谱分析了过渡层不同生长阶段金刚石薄膜的质量的影响.采用SEM、EDS对金刚石薄膜硬质合金刀具横截面的结构进行了研究.结果表明:基体中的Co被Cu/Ti作过渡层有效的抑制住;Cu向基体内的扩散改善了基体的性能,提高了界面层金刚石薄膜的质量;Ti的引入促进了金刚石的形核,减少了界面处晶粒间的空隙,提高了金刚石薄膜与基体表面的实际接触面积. 相似文献
85.
Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition of Diamond Films on Silicon From Ethanol and Hydrogen 总被引:1,自引:0,他引:1
Diamond films with very smooth surface and good optical quality have been deposited onto silicon substrate using microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD)from a gas mixture of ethanol and hydrogen at a low substrate temperature of 450℃.The effects of the substrate temperature on the diamond nucleation and the morphology of the diamond film have been investigated and observed with scanning electron microscopy(SEM).The microstructure and the phase of the film have been characterized using Raman spectroscopy and X-ray diffraction(XRD).The diamond nucleation density significantly decreases with the increasing of the substrate temperature.There are only sparse nuclei when the substrate temperature is higher than 800℃ although the ethanol concentration in hydrogen is very high.That the characteristic diamond peak in the Raman spectrum of a diamond film prepared at a low substrate temperature of 450℃ extends into broadban indicates that the film is of nanophase.No graphite peak appeared in the XRD pattern confirms that the film is mainly composed of SP^3 carbon.The diamond peak in the XRD pattern also broadens due to the nanocrystalline of the film. 相似文献
86.
采用乙醇和氢气作为工作气体,利用微波等离子体化学气相沉积法在较低的沉积温度下制备了金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱、X射线衍射仪(XRD)和红外光谱研究了薄膜的结构和性质。结果表明:在450℃的基片温度下,利用乙醇和氢气在优化的工艺条件下可得到具有微晶结构的金刚石薄膜。 相似文献
87.
88.
89.
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在含有缺陷的单晶金刚石种晶上进行同质外延生长实验,在其他沉积参数保持相同的情况下,研究温度对生长的单晶金刚石缺陷的影响。通过发射光谱、拉曼光谱以及SEM对单晶金刚石进行表征。实验结果表明:单晶金刚石温度越高,金刚石表面的等离子体发射光谱中的谱线强度比值I(C2)/I(Hα)也越高;而电子温度越低,等离子体中粒子间的碰撞更加剧烈。在740℃沉积时,单晶金刚石表面会在同质外延生长后出现从缺陷处贯穿的裂痕;在780和820℃沉积时,单晶金刚石表面缺陷有被抑制和覆盖的趋势,缺陷面积减小;而在860℃沉积时,缺陷面积扩大且凸起更为明显。因此,在适宜温度下生长的单晶金刚石质量较好,金刚石特征峰偏移小、应力较小;温度过高或不足,金刚石特征峰向低波数偏移程度较大,压应力较大。 相似文献
90.
为降低煤泥燃烧过程SO_2排放,以煤泥为原料,分别利用X射线衍射仪(XRD)和电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)分析煤灰中矿物组成和化学组成,研究了2种钙基固硫剂(CaCO_3、CaO)在煤泥燃烧过程中的演变行为和不同条件下的固硫效果。结果表明,当燃烧温度低于820℃时,2种固硫剂在燃烧过程中均主要转化为硬石膏和石灰,不与煤泥中的矿物质发生反应。当燃烧温度高于820℃时,固硫剂转化为硬石膏和生石灰,而生石灰又与煤灰中的SiO_2和Al_2O_3反应生成了钙黄长石。当燃烧温度超过1 000℃时,部分固硫产物CaSO_4发生分解,导致固硫率降低。煤泥和固硫剂混合制备成型煤,能够显著提高固硫效果。 相似文献