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一种可用于Footing效应模拟的ICP刻蚀模型 总被引:1,自引:0,他引:1
电感耦合等离子体(ICP)刻蚀在目前的硅微机械加工中应用十分广泛。在这一加工过程中,存在着影响结构拓扑特性、被加工结构性能的一些效应,SOI结构中的Footing效应就是其中之一。本文在利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP刻蚀表面进行建模及数值模拟的基础上,根据Footing效应的实验表现特征,设定类高斯分布的表面描述方程。同时借助实验数据确定了表面描述方程中的参数,添加了一种简单有效的Footing效应模拟模块。最后对Footing效应刻蚀表面进行模拟,并得到与实验较为一致的表面模拟结果。 相似文献
92.
几种二元熔盐作用浓度计算模型初探 总被引:5,自引:0,他引:5
按照正负离子未分开的分别对含固溶体,共晶体和复杂化合物的二元熔盐制定了作用浓度计算模型,计算结果与实测活度符合;按照正负离子分开的条件制定的计算模型,则未取得符合实际的结果,证明熔盐中正负离子的确是未分开的,原因是多数熔盐中缺乏介电物质。 相似文献
93.
94.
含包晶体二元金属熔体的作用浓度计算模型 总被引:3,自引:1,他引:2
张鉴 《中国有色金属学报》1997,7(4):30-34
根据相图中出现包晶体、混合自由能和过剩自由能显负值等,分别对AgIn,AuBi和AuPb金属熔体制定了作用浓度计算模型。计算结果与实测值符合,从而证明计算模型可以反映相应金属熔体的结构本质,并证明大多数包晶体仍可存在于熔体中。 相似文献
95.
根据含化合物的金属熔体结构的共存理论,推导了1673K下Fe-C-P、Fe-Mn-P、Fe-Si-P三元金属熔体作用浓度计算模型。计算的磷的作用浓度与相应的实测磷活度相符合,从而证明所得模型可以反映Fe-C-P、Fe-Mn-P、Fe-Si-P三元熔体的结构本质。同时模型揭示了C、Mn、Si的摩尔分数对磷的转换系数的影响规律。 相似文献
96.
张鉴 《华东冶金学院学报》1997,14(3):185-189
根据含化合物金属熔体铁共存理论,相图和Fe-C系亚稳态化合物的有关热力学数据制定了Fe-Si-C熔体的作用浓度计算模型,计算结果符合实际,从而证明所推导的计算模中以反映体熔体的结构实际。 相似文献
97.
98.
原苏联和乌克兰著名教授、乌克兰科学院院士米·依·伽西克 (M.I.Gasik)学术渊博 ,具有深厚的冶金物化和化工理论基础、丰富的科学研究经验及宽广的生产知识。他是电炉炼钢、铁合金、有色金属及无机材料方面的权威。目前公开发表的著作已有 2 0种之多 ,最著名的有《铁合金生产的理论和工艺》,已定为独联体国家大学教科所 ,并已译为中文 ,广为我国科研院所、大学和铁合金厂学者和工程技术人员所研读 ;《锰》,为锰铁合金冶炼方面的权威著作 ;《铬冶金学》,是铬铁合金冶炼方面的名著 ,已翻译成英文出版 ;2 0 0 2年新出版的《硅铁冶金学》是伽… 相似文献
99.
100.