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91.
一种可用于Footing效应模拟的ICP刻蚀模型   总被引:1,自引:0,他引:1  
张鉴  黄庆安  李伟华 《仪器仪表学报》2007,28(12):2169-2173
电感耦合等离子体(ICP)刻蚀在目前的硅微机械加工中应用十分广泛。在这一加工过程中,存在着影响结构拓扑特性、被加工结构性能的一些效应,SOI结构中的Footing效应就是其中之一。本文在利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP刻蚀表面进行建模及数值模拟的基础上,根据Footing效应的实验表现特征,设定类高斯分布的表面描述方程。同时借助实验数据确定了表面描述方程中的参数,添加了一种简单有效的Footing效应模拟模块。最后对Footing效应刻蚀表面进行模拟,并得到与实验较为一致的表面模拟结果。  相似文献   
92.
几种二元熔盐作用浓度计算模型初探   总被引:5,自引:0,他引:5  
张鉴 《金属学报》1997,33(5):515-523
按照正负离子未分开的分别对含固溶体,共晶体和复杂化合物的二元熔盐制定了作用浓度计算模型,计算结果与实测活度符合;按照正负离子分开的条件制定的计算模型,则未取得符合实际的结果,证明熔盐中正负离子的确是未分开的,原因是多数熔盐中缺乏介电物质。  相似文献   
93.
综述了质子交换膜燃料电池(PEMFC)建模方法和模型类型。概述了PEMFC的机理模型和经验模型,详细介绍了电压模型、空气供应子系统模型、氢气供应子系统模型、水管理子系统模型和热管理子系统模型等,综述了国内外对PEMFC数学建模的研究现状,并对未来PEMFC数学模型的发展提出了展望。  相似文献   
94.
含包晶体二元金属熔体的作用浓度计算模型   总被引:3,自引:1,他引:2  
根据相图中出现包晶体、混合自由能和过剩自由能显负值等,分别对AgIn,AuBi和AuPb金属熔体制定了作用浓度计算模型。计算结果与实测值符合,从而证明计算模型可以反映相应金属熔体的结构本质,并证明大多数包晶体仍可存在于熔体中。  相似文献   
95.
根据含化合物的金属熔体结构的共存理论,推导了1673K下Fe-C-P、Fe-Mn-P、Fe-Si-P三元金属熔体作用浓度计算模型。计算的磷的作用浓度与相应的实测磷活度相符合,从而证明所得模型可以反映Fe-C-P、Fe-Mn-P、Fe-Si-P三元熔体的结构本质。同时模型揭示了C、Mn、Si的摩尔分数对磷的转换系数的影响规律。  相似文献   
96.
根据含化合物金属熔体铁共存理论,相图和Fe-C系亚稳态化合物的有关热力学数据制定了Fe-Si-C熔体的作用浓度计算模型,计算结果符合实际,从而证明所推导的计算模中以反映体熔体的结构实际。  相似文献   
97.
卫星-地面观测数据融合方法研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
我们综合利用地面观测、探空和卫星遥感获取的气象参数(包括温度、湿度和气压等),开发了一种新的数据融合方法,它能够求出任一特定地点和特定时间大气参数的垂直分布廓线,为现代武器实验提供气象参数。  相似文献   
98.
新书介绍     
原苏联和乌克兰著名教授、乌克兰科学院院士米·依·伽西克 (M.I.Gasik)学术渊博 ,具有深厚的冶金物化和化工理论基础、丰富的科学研究经验及宽广的生产知识。他是电炉炼钢、铁合金、有色金属及无机材料方面的权威。目前公开发表的著作已有 2 0种之多 ,最著名的有《铁合金生产的理论和工艺》,已定为独联体国家大学教科所 ,并已译为中文 ,广为我国科研院所、大学和铁合金厂学者和工程技术人员所研读 ;《锰》,为锰铁合金冶炼方面的权威著作 ;《铬冶金学》,是铬铁合金冶炼方面的名著 ,已翻译成英文出版 ;2 0 0 2年新出版的《硅铁冶金学》是伽…  相似文献   
99.
谢金球  张鉴  白永兰 《矿冶》2000,9(3):29-33,23
分析了包钢选矿厂氧化矿弱磁—强磁—反浮选工艺流程现状 ,指出了工艺中存在的不足之处 ,提出了改善磨矿、磁选工艺参数的建议 ;并探讨了从尾矿中回收铁和稀土矿物的可行性。仅从尾矿中充分回收磁铁矿 ,铁选矿回收率即可提高 1 2 9个百分点  相似文献   
100.
赵强  吕明  张鉴 《电子科技》2012,25(5):1-3
介绍了基准源的发展和基本工作原理以及目前较常用的带隙基准源电路结构。设计了一种基于Banba结构的基准源电路,重点对自启动电路及放大电路部分进行了分析,得到并分析了输出电压与温度的关系。文中对带隙电压基准源的设计与分析,可以为电压基准源相关的设计人员提供参考。可以为串联型稳压电路、A/D和D/A转化器提供基准电压,也是大多数传感器的稳压供电电源或激励源。  相似文献   
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