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991.
我们研究了使用CF_4和C_2F_6等气体的反应离子束刻蚀半导体和绝缘材料,并与Ar离子铣的刻蚀速率进行了比较。在联邦科学公司制造的刻蚀系统中用考夫曼型(Kaufman-type)离子源产生离子束。当用Ar离子束刻蚀象InGaAs、InP、GaAs、Si和Ge那样的半导体时,这些材料的刻蚀速率随束流密度的增加而线性地增加。当使用CF_4或C_2F_6离子束时看到了相当不同的情况;在大束流密度下,刻蚀速率偏离了与束流密度呈线性的关系。对于以上所有材料,使用Ar的刻蚀迷率高于使用CF_4或C_2F_6的刻蚀造率。然而,对于SiO_2、BaO、LiNbO_3等基片,C_2F_6和CF_4都能给出比Ar好的线性和更高的刻蚀速率。有一些迹象表明,在大束流时,CF_4和C_2F_6造成表面碳积累。在SiO_2、BaO、LiNbO_2和其他氧化物上碳的累织很少,因为晶格中的氧将与碳以CO、CO_2、或COF_2的形式形成挥发物,所以能看到较好的线性关系。我们报导了可以用调节轴向磁场和调节输入的氧气这两种方法来调节Ⅲ-Ⅴ族化合物与束流密度的关系。我们也报导了采用C_2F_6、CF_4、Ar/O_2和Ar等气体时,在光刻胶与半导体材料之间的差异刻蚀速率。指出了用C_2F_6气体时差异刻蚀速率最好。 相似文献
992.
993.
994.
在用户用电负荷量较为集中的情况下,为解决因电信号堆积而造成的异常用电行为问题,设计基于果蝇算法优化LSTM的用户异常用电行为预测模型。通过初始化果蝇算法的方式,获取用户的用电数据预处理结果,将其与LSTM超参数指标相结合,完成基于果蝇算法优化LSTM的用电量数值记忆。在此基础上,选取既定评价指标,根据缺失值计算表达式,确定决策参数的具体数值,实现基于果蝇算法优化LSTM的用户异常用电行为预测模型的搭建与应用。实例分析结果表明,随着果蝇算法优化LSTM理论的应用,电信号在用户用电集中负荷时所需消耗的训练时间更短,可有效解决电信号的堆积问题,实现对用户异常用电行为的有效预测。 相似文献
995.
996.
建立了柴油机缸内燃烧模型和NOx生成模型,结合实验,对柴油机工作过程以及NOx排放进行了研究.研究结果表明,燃烧初期NOx的生成主要集中在油束外围火焰前锋附近,随着燃烧的扩散NOx的生成主要集中在燃烧室缩口处及中央持续高温、富氧部位;由于缸内未燃碳氢的还原作用,NOx生成总量随曲轴转角增加先增大后减小,且随着缸内气流运动,使NOx在燃烧室内分布趋于均衡. 相似文献
997.
用分层递阶分析的方法探讨了流域水资源优化配置模型的建立和求解思路。将流域系统化,以追求经济效益、社会效益和环境效益为目标建立流域水资源优化配置供水模型,多目标统一用经济标准衡量,加上各种约束条件将流域水资源系统模型化,用大系统多目标递阶动态规划方法求解,以取得水资源优化配置的最佳方案。该模型以太子河流域水资源优化配置为实例具有实际意义。 相似文献
998.
999.
1000.
降低食用香椿中亚硝酸盐含量的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
香椿叶可直接食用或烹调菜肴。味道鲜美,深受国内大部分城乡居民喜爱。对其亚硝酸盐的含量李晓明等人已进行过检测。但是,如何降低香椿中亚硝酸盐含量未见报道。本次研究发现,清水洗后的香椿,亚硝酸盐平均含量为34.1mg/kg;沸水烫后平均含量4.4mg/kg。用未经处理的香椿炒蛋。亚硝酸盐平均含量83.3mg/kg,经沸水烫后,平均含量为1.5 mg/kg。采用15%和30%浓度的盐水腌制,不能降低亚硝酸盐含量。沸水烫后的食用香椿可降低亚硝酸盐含量,减少亚硝胺的形成和诱发肿瘤的机会。 相似文献