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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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在当前工业化进程不断加速的前提下,社会生产生活对于矿产资源的需求量在不断增加。而作为一种不可再生的能源,如果不能够实现对矿产资源生产及开采的合理规划,就会导致可开采资源的整体储备量急剧下降。我国在经过多年的生产开采之后矿产资源整体储量逐渐萎缩,这对我国未来的工业生产以及社会生活都会产生一定的影响、在具体生产开采过程中地质构造会对矿产资源的生产与开采产生巨大影响,因此必须要针对矿山地质构造进行深入分析,并对矿产资源开采以及地质构造勘探之间的关系进行深入探讨,在此基础上才能制定出更加合理的开采方案。 相似文献
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