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机械仪表
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1.
具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究
张鸿海
曹伟
师汉民
陈日曜
李文菊
周学夫
《工具技术》
1995,(1)
介绍了具有宽测量范围(140×140μm2)的高灵敏度扫描探针显微镜(SPM)。仅用了6个需加工的零件,构造出了直接对130mm的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头,可以在扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、磁力显微镜(MPM)与静电力显微镜(EFM)模式下工作。本文给出了部份试验结果,如高定向石墨的原子图像、光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。
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