多材料按需微滴喷射系统设计与实验研究

为满足微电子制造、封装领域中不同性质材料按需精确分配的需求,提出了一种由多微滴喷射单元构成的多材料按需微滴喷射系统。该系统的微滴产生模块由用于低黏度流体材料的气动膜片式微滴喷射单元、用于熔融金属流体的压电活塞式微滴喷射单元和用于高黏度流体的机械阀式微滴喷射单元组成。同时由数字相机、模拟相机+图像采集卡构成的图像采集系统,实现液滴沉积的视觉引导对准定位,以及微滴产生过程的图像采集。利用该系统,进行水基混合物、金属焊料和环氧树脂胶的微滴喷射实验,分析了不同黏度对液体微滴喷射过程的影响,实现了金属焊料的微滴喷射,获得了平均直径为70.5μm的焊球及焊球阵列,其直径偏差小于2%。同时也获得了平均直径为0.6 mm的环氧树脂胶点阵列,其直径偏差小于4%。实验结果表明:该系统可用于包括高黏度环氧树脂胶、金属焊料等在内的多种不同黏度的材料,实现微米级微滴的按需喷射。     

MEMS封装技术及标准工艺研究

分析了MEMS的特点及封装工艺对MEMS的影响,给出了对MEMS封装的基本要求.研究了MEMS封装工艺中的一些关键技术,即硅-硅和硅-玻璃键合技术、清洗与引线键合技术、焊料贴片和胶粘技术以及气密封帽技术等,并给出了一些重要的研究结果.同时也介绍对几种MEMS惯性器件的封装要求及封装方法.     

气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法

为满足面积阵列封装对所需焊球越来越高的要求,提出了利用气动膜片式微滴喷射原理制作焊球的新方法。介绍了该方法的基本原理及所采用的实验装置,使用由自制电火花微孔加工机床加工的直径50μm不锈钢喷嘴,成功实现了直径100μm以下焊球的制作,研究了主要控制参数对焊球直径的影响。结果表明,气动膜片式微滴喷射方法制作的焊球直径精确、表面闪亮、球形完美,填补了国内直径100μm以下超精密微焊球制作技术的空白。     

基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术

在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上，通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压，获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调整电力信号，同时获得样品表面微观形貌特征和表面电特性，如表面电荷分布，表面电势等。     

VRML彩色切片过程中的若干问题研究

彩色三维打印技术作为三维打印技术的一个重要方面,有着广阔的应用前景。通过研究VRML(Virtual Reality Modeling Language)文件格式的特点,选择了该文件格式作为数据传输接口;通过从文件中提取模型的颜色信息,实现了对三维模型进行彩色切片;并结合实验室自行研制的三维打印系统对切片结果进行了验证,成功打印出彩色三维模型。针对切片过程中的一些关键环节,包括平行表面显示,轮廓方向修正及多零件模型(装配件)切片,进行了详细的讨论,并针对这些问题提出了相应的解决方案。     

国外舰载C~3I系统及电子设备的发展现状与趋势

作者在本文中阐述了舰载C~3I系统及电子设备在现代高技术战争中的地位和作用,发展现状和趋势,据此提出了发展我国舰载C~3I系统的对策建议     

一种宽范围扫描隧道显微镜

给出了针有表面纳米形貌检测需要而研制的一种实用型宽范围扫描隧道显微镜，扫描范围为４０×４０×１０μｍ＾３，配有一个放大倍数可调的光学显微镜帮助选择视场，可测量较大尺寸试件，实验表明，该ＳＴＭ所测图像清晰，使用方便，结构简单，适于产品化。     

光纤维位移测量仪的研究

本文根据光学三角原理，介绍了用光纤束作传感器，对μｍ以下的微小位移进行检测的方法及系统的组成。并从该测量原理出发，还可以对圆度、微小尺寸偏差、表面轮廓及微小振幅的振动、以及硅片、胶片的厚度偏差进行检测。     

宽范围原子力显微镜在超精加工中应用研究

介绍了用于分析起精加工的原子力显微镜。其垂直方向和水平方向的分辨率可达纳米级，测量范围可达140×140μm。采用探头扫描方法和双扫描工作模式，扩大了该测量方法的应用范围。给出了金刚石刀具钝圆半径与精密玻璃光栅和超精密抛光陶瓷的轮廓形貌的测量结果。