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针对大尺寸光学平面的直线度的纳米级测量精度需求,提出了倾斜入射下单截面平面度绝对检验方法,实现了对超过相移干涉仪口径的长平晶绝对检验。利用棱镜转向实现倾斜入射角度的精密预标定,棱镜标定角度的精度高于圆光栅和图像分析等方法,可提高测量不确定度到0.0042 μm。对比了常规三面互检绝对检验结果与本方法的差异,在相同尺寸下,直线度误差仅为1.2 nm。在确认标定反射镜位置后,整个倾斜入射的干涉图调整过程将被完全集中到待测长平晶的工作面上,不需要再对反射平晶进行操作。调整长平晶时各个维度的操作互不干涉,可快速简便地得到测量结果。 相似文献
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安全壳泄漏率计算过程中,最重要的环节是以不同时刻测量数据对时间进行线性回归分析。对回归的显著性检验以及方差分析是评价试验结果有效性的重要手段。本文基于统计软件R对某电厂调试阶段安全壳泄漏率试验的数据进行分析,通过对线性回归模型的独立性、正态性和异方差性检验以及极端样本点的剔除等方式,探讨泄漏率计算前的回归诊断对计算结果可靠性的影响。通过回归诊断的实例分析发现,在安全壳泄漏率计算的数据样本中,可能存在自相关、非正态和异方差性等问题影响回归结果,进而影响泄漏率的最终结果。因此,在计算泄漏率结果时,须通过回归诊断方法评价数据的有效性,对不能通过检验的样本应通过适当方法对最终结果进行修正。 相似文献
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底侧卸式矿车空间曲轨关系到卸矿过程是否平稳顺畅,空间曲轨属细长件,在三维方向上均有尺寸及位置要求。为了更好地实现空间曲轨的加工精度,针对制作过程中易出现定位不准、变形过大等问题,结合制作条件,对底侧卸式矿车空间卸载曲轨的结构、制作工装、制作步骤及检验工具进行了研究。研究实现了可借鉴与复制的空间曲轨制作、检验方法。 相似文献
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