以源电压增益为基础的方框图分析法

四种反馈类型用四种不同增益去分析,在解决实际问题时常感不方便;由于不能定量计算信号源内阻的影响,其分析结果也不够实用;四套分析体系常常造成概念上的混淆和教学上的繁难。针对方框图法存在以上问题.我们进行了长期的探索,最后,我们认为产生以上问题是模拟电路理论上片面强调增益这个参数的结果。     

电子回旋共振CF4+O2等离子体中Si3N4刻蚀工艺研究

在一台自行研制的电子回旋共振 (ECR)刻蚀系统中用CF4、O2 气体实现了Si3 N4材料的微细图形刻蚀。获得了气体流量、气体混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响。结果表明刻蚀速率在O2 含量为 0 %时最慢 ,然后随着气体混合比的增加而增大 ,当气体中O2 含量为 2 0 %时达到最大 ,然后随着气体混合比的增加而缓慢降低。保持气体混合比为 2 0 % ,刻蚀速率随气体流量增加而增大 ;同时 ,微波功率越大 ,刻蚀速率也越高。     

电子回旋共振CF4＋O2等离子体中Si3N4刻蚀工艺研究

在一台自行研制的电子回旋共振(ECR)刻蚀系统中用CF4、O2气体实现了Si3N4材料的微细图形刻蚀。获得了气体流量、气体混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响。结果表明刻蚀速率在O2含量为0％时最慢，然后随着气体混合比的增加而增大，当气体中O2含量为20％时达到最大，然后随着气体混合比的增加而缓慢降低。保持气体混合比为20％，刻蚀速率随气体流量增加而增大；同时，微波功率越大，刻蚀速率也越高。     

高校“程序设计基础”教学中存在的问题与对策

分析了现阶段高校非计算机专业"程序设计基础"教学中关于学时、教学手段、实验课设置等方面存在的问题,经过认真地研究和思考,提出了相应的解决对策与方法,并指出高校的程序设计基础教学应着眼于学生能力和思维方式的培养。     

机房动力环境监控系统应用研究

对机房动力环境进行了调查,分析了机房动力监控设备复杂、通信协议繁多、监控要求各异的特点,在现有通信网络基础上,建立通信与监控平台,实现了对机房动力环境进行集中监控.该方案具有完善的自动监测和控制功能,对发生的各种事件能进行实时语音、电话、短信报警,并实时记录时间,有效的提高了监控系统的可靠性,实现了对机房设备的统一监控和科学管理.     

大学信息技术基础教学中存在的问题及对策研究

虽然大学信息技术基础教学早在90年代就在我国开始普及,但是到目前为止该课程的教学却并未完全达到目的。就信息技术基础教学过程中存在的问题进行了归纳,并总结出了一些好的方法。     

微波ECR等离子体刻蚀系统

研制成功了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统。该系统采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波 ,由Nd Fe B永磁磁钢形成高强磁场 ,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积、均匀、高密度等离子体。利用该系统实现了SiO2 、SiN、SiC、Si等材料的微细图形刻蚀 ,刻蚀速度分别为 2 0 0nm/min ,5 0 0nm/min ,4 0 0nm/min ,70 0nm/min ,加工硅圆片Φ2 0 0mm ,线条宽度 <0 3μm ,选择性 (SiO2 、Si) >2 0 ,剖面控制 >83° ,均匀性 95 % ,等离子体密度 2 0× 10 11cm-3 。电离度大(>10 % ) ,工作气压低 (1Pa～ 10 -3 Pa) ,均匀性好 ,工艺设备简单 ,参数易于控制等优点。