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1.
工艺因素对低压化学气相沉积氮化硅薄膜的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
以硅烷和氨气分别做为硅源和氮源,以高纯氮气为载气,采用热壁式管式反应炉,通过低压化学气相沉积(low pressure chemical vapor deposition,LPCVD)技术制备了氮化硅薄膜(SiN_x)。借助椭圆偏振仪研究了SiN_x薄膜的生长动力学,通过Fourier红外光谱和X光电子能谱表征了SiN_x薄膜的性质,并利用原子力显微镜观察了SiN_x薄膜的微观形貌。在其它工艺条件相同的情况下,SiN_x薄膜的生长速率随着工作压力的增大单调增加,原料气中氨气与硅烷的流量之比(R)对薄膜的生长速率有相反的影响。随着反应温度的升高,沉积速率逐渐增加,在840℃附近达到最大,随后迅速降低。当R<2时获得富Si的SiN_x薄膜(x<1.33);当R>4时获得近化学计量(z≈1.33)的SiN_x薄膜。  相似文献   
2.
氮化硅基陶瓷连接技术的研究进展   总被引:2,自引:0,他引:2  
陶瓷连接技术是结构陶瓷实用化的有效手段,焊料成分对连接体的性能具有决定性作用。本文主要从焊料成分选择的角度,总结了氮化硅基陶瓷连接技术的发展现状;并重点讨论了陶瓷/玻璃复合焊料在β-Sialon陶瓷连接中的应用。  相似文献   
3.
蒲锡鹏  张大凤  刘学建 《材料导报》2005,19(Z2):386-388
对原料粉体ξ电位的研究表明,粘结剂硅溶胶加入后,所有粉体的ξ电位在pH=10左右都有不同程度的下降,说明各粉体的分散性得到了提高;同时浆料粘度存在一个最小值,浆料最佳分散pH值在10左右.羧甲基纤维素(CMC)的最佳加入量为0.2 wt%.制备出了适于有机泡沫体浸渍成型的具有一定触变性的陶瓷浆料.  相似文献   
4.
研究了少量SiO2和Nb2O5掺杂对α-氧化铝晶粒生长的影响.单一掺杂1 500℃煅烧2h的样品均表现为晶粒的等轴状,且铌掺杂明显促进了氧化铝晶粒的生长.SiO2与Nb2O5的共掺杂则导致晶粒各向异性优势生长.高分辨透射电镜照片表明:在一些晶粒晶界出现0.8~4nm的无定形层,晶界处的液相同样影响晶界能,从而诱导各向异性生长.结果表明:在固定铌含量的基础上,少量二氧化硅使材料的断裂韧度提高42%,抗弯强度提高约80%.  相似文献   
5.
综述了水热(溶剂热)法、溶胶-凝胶法、微波辅助法和低温溶液法制备无机纳米管的最新研究进展。分析了影响纳米管形貌的因素及纳米管的形成机理,对纳米管的应用进行了展望。  相似文献   
6.
以硝酸锌和硫脲为原料,乙二胺四乙酸二钠(Na2EDTA)为螯合剂,用水热法制备了ZnS微球。用扫描电子显微镜(SEM)对产物的形貌进行了表征,结果表明反应温度以及反应pH对产物粒径大小、表面形貌有很大影响。当反应温度为180℃、pH值为9,反应时间为12h时,所制备的产物约为500nm的球状颗粒。  相似文献   
7.
YW2O6(OH)3:Tb3+ green phosphors were synthesized at different pH values via a facile hydrothermal method. The structure and optical properties of as-synthesized samples were studied by X-ray diffractometer (XRD), scanning electron microscopy (SEM), photolumi-nescence spectra and luminescence decay curve. The results showed that pure monoclinic YW2O6(OH)3:Tb3+ green phosphors could be ob-tained at pH 2-5. Uniform spherical micro-phosphors of ~5 μm in diameter with narrow size distribution could be prepared at pH 5. pH value had dramatic influence on morphologies, which could be ascribed to the various spatial configurations of different poly-tungstates existing at different pH values. The emission spectra under 261 nm excitation exhibited dominant green emission at 546 nm. The green emission inten-sity reached the maximum value at pH 5 due to the high packing density of the obtained phosphor.  相似文献   
8.
蒲锡鹏  张大凤  刘学建 《材料导报》2005,19(Z2):389-391
采用两次离心挂浆工艺制备出氮化硅网眼多孔陶瓷.与辊压法相比,用两次离心挂浆工艺制备的网眼多孔陶瓷的结构均匀性得到显著提高,抗弯强度提高了1倍左右.其相组成为β-Si3N4和O'-Sialon,晶粒发育较完善.  相似文献   
9.
通过磁化水与普通水拌制的水泥胶砂试件强度的对比,探讨了磁化水在水泥水化和凝结硬化过程中的作用,浅析了水的磁化机理及磁化水在水泥石强度增长过程中的作用机理。试验表明,静止磁化水对水泥石早期强度发展有一定的促进作用,但对后期强度影响甚微。  相似文献   
10.
李红  邵鑫  蒲锡鹏  赵利民 《山东陶瓷》2010,33(6):14-15,28
采用辛基酚聚氧乙烯(10)醚(OP-10)/正丁醇/正辛烷/水反相微乳液体系,制备了PbF2准一维纳米材料。研究了微乳液体系中水与表面活性剂的摩尔比对准一维PbF2尺寸和形貌的影响。用扫描电子显微镜、X射线衍射仪表征样品的形貌和结构。结果表明:所得PbF2直径约200~800nm、长约1~6μm。  相似文献   
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