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扫描探针显微镜在超精密加工中的应用 总被引:2,自引:1,他引:2
对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述。介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用。指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化。只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展。 相似文献
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利用HL Ⅱ型微机控制原子力显微镜(AFM)系统对无磨料低温抛光件表面的轮廓曲线进行了测量。基于分形理论,分析和讨论了不同工艺参数对表面分形维数D和轮廓算术平均偏差Ra的影响。研究结果表明:D与Ra反映了表面质量的不同方面,它们之间有一定的对应关系,但并不是线性的;对于同样的加工方法,硬质合金材料的D值比铝合金材料的D值大;分形维数可以揭示超光滑表面的表层质量。 相似文献
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移动自组网独有的网络特性一自组织、多跳、节点的随机移动等,因此,对无线自主网的研究成为了当前的一大热点.通过对无线自主网的研究,介绍了无线自主网的基本特性,并在实际中加以实现. 相似文献
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移动自组网独有的网络特性—自组织、多跳、节点的随机移动等,因此,对无线自主网的研究成为了当前的一大热点.通过对无线自主网的研究,介绍了无线自主网的基本特性,并在实际中加以实现. 相似文献
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