介电多层膜与人工介电超晶格的研究

近年来，铁电薄膜制备技术的迅速发展使得人工介电超晶格的生长成为现实。简要介绍了有关介电多层膜和人工介电超晶格的制备、结构和性能的研究状况，讨论了进一步研究需解决的问题。     

用金属有机化合物制备铁电薄膜：工艺及进展

本文概述了以金属有机化合物为原料制备铁电薄膜的工艺过程、工艺特点及最新研究进展，着重介绍了金属有机物化学气相溶积（ＭＯＣＶＤ），金属有机物热分解（ＭＯＤ）以及溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）三种制备技术在铁电薄膜制备领域中的应用。     

介电超晶格研究进展

随着铁电薄膜制备技术和性能研究的发展，介电超晶格已受到人们的关注，本文简要介绍了有关介电超晶格的结构，性能及制作技术，并指出了存在的问题和可能的发展方向。     

PZT薄膜的MOD制备及形成机理研究

采用金属有机物热分解（ＭＯＤ）工艺在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）薄膜。ＸＲＤ分析显示薄结晶状态良好,无焦绿石相存在。ＡＥＳ测量表明：薄膜成分沿膜厚均匀分布,膜中无碳存在,表面不富含铅。分析了薄膜的形成机理,安性地解释了晶粒的生长过程。     

择优取向的PbTiO3玻璃陶瓷薄膜的Sol—Gel制备及结构

采用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ工艺制备了ＰｂＴｉＯ３（ＰＴ）玻璃陶瓷薄膜,实现了常规熔融法难以达到的高ＰＴ含量,薄膜中ＰＴ晶粒分布均匀,闰大小约０．１μｍ,膜中无孔洞,采用常规热处理,可获得Ｃ轴择优取向的ＰＴ玻璃陶瓷薄膜,而利用快速热处理技术有助于抑制ＰＴ焦绿石相的出现,且薄膜呈现轻微的ａ轴择优取向。     

用金属有机化合物制备铁电薄膜：工艺及进展

本文概述了以金属有机化合物为原料制备铁电薄膜的工艺过程、特点，以及最新研究进展；着重介绍了金属有机物化学气相沉积，金属有机物热分解，以及溶胶一凝胶三种制备技术在铁电薄膜制备领域中的应用。     

TiO_2薄膜的Sol－gel制备及结构分析

以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料，采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了ＴｉＯ＿２薄膜，薄膜表面均匀、致密，无裂纹。研究表明，随热处理温度的提高，薄膜经锐钛矿转变为金红石结构，其转变温度因衬底不同而异，但比凝度粉末的转变温度高。金红石结构的ＴｉＯ＿２薄膜具有一定的择优取向性，其品位大小为０．０５～０．１５μｍ．     

压电微悬臂在原子力显微镜中的应用

微悬臂是原子力显微镜中最重要的部件之一。用压电微悬臂代替常用的Ｓｉ、ＳｉＯ２或Ｓｉ３Ｎ４微悬臂后的原子力显微镜有一些独特的优点。由于压电微悬臂中的压电薄膜具有压电效应，因此它既可致动微悬臂，又可探测微悬臂的位移量，使得原子力显微镜的结构简单、响应速度快、扫描速度加快。文中简要介绍了压电微悬臂的制作过程，分析了压电微悬臂在原子力显微镜中的各种应用及相应的原子力显微镜的工作原理和有关结果，并与普通原子力显微镜进行了比较。     

压电微悬臂有原子力显微镜中的应用

微悬臂是原子力显微镜中最重要的部件之一。用压电微悬臂代替常用的Ｓｉ、ＳｉＯ２或Ｓｉ３Ｎ微悬臂后的原子力显微镜有一定独特的优点。由于压电微悬臂中的压电薄膜具有压电效应，因此它既可致动微悬臂，又可探测微悬臂的位移量，使得原子力显微镜的结构简单、响应速度快、扫描速度加快．文中简要介绍了压电微悬臂的制作过程，分析了压电微悬臂在原子力显微镜中的各种应用及相应的原子力显微镜的工作原理和有关结果，并与普通原子力     

Y1铁电薄膜材料研究进展

曾经引起铁电学界轰动的Ｙ１材料，其组成已公之于世，其结构为（Ｂｉ２Ｏ２）２＋（Ａｎ－１ＢｎＯ３ｎ＋１）２－氧化铋基层状铁电材料。目前研究较多的是ＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９，ＳｒＢｉ２Ｎｂ２Ｏ９以及它们的固溶体。文章介绍了有关Ｙ１材料的研究背景，研究现状及发展前景