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1.
制备条件对反应溅射制备的a—SIC:H膜结构和特性的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过红外透射谱,可见-紫外透射反射谱和电导率的测量,研究制备条件(射频功率P和CH4流量比rc)对反应溅射法制备的a-Sic:H膜的结构和特性的影响。结果发现,当P=320W,rc=3.41%时,膜的质量较好:带尾较窄,膜中C成四配位,SiC键数目较多,Eopt〉2eV。对实验结果作了初步讨论。  相似文献   
2.
本文通过红外透射谱(IR)、拉曼散射谱(Raman)、电子自族共振谱(ESR)、光吸收谱、电导率和淀积速率的测量,比较全面地研究了射频功率对反应溅射法淀积的a-Ge:H薄膜特性的影响.发现a-Ge:H膜的淀积速率、氢量、膜结构、光电性能随功率发生规律性的变化.对实验结果作了初步讨论.  相似文献   
3.
王辉耀 《广东电子》2010,(11):20-20
近日,美国著名的《外交政策》(Foreign Policy)杂志选出2009年度全球100名顶尖思想者,认为他们的思想塑造了2009年的世界。其中美联储主席伯南克、美国总统奥巴马位居前两位,中国人民银行行长周小川位列第九,大陆媒体人胡舒立、华裔学者裴敏欣也入选。思想是一种力量。能用思想影响世界,  相似文献   
4.
由于经济福利的改善、农业生产率的提高、消费者健康意识的增强和食品安全危机等多重影响,欧盟消费者对食品的偏好特征发生了改变,推动了欧盟农业和食品政策关注点从传统的供给和收入问题向食品质量和安全问题转变。本文在论述了消费者偏好变化和欧盟农业与食品政策变革的基础上,分析讨论了消费者对欧盟政策和标准的影响。  相似文献   
5.
刘键  魏龙  王辉耀  马创新  王宝义 《核技术》2000,23(6):376-380
用正电子湮没技术和扫描电子显微镜研究研究了阳极氧法法制备的多孔硅材料。正电以实验表明,随着阳极氧化时间的延长,平均寿命值增大,空位缺陷增多,长寿命成分较少。扫描电子显微显示,在阳极氧化过程中有尺寸为几μm的单晶球形成。  相似文献   
6.
我们正进入一个全新的时代,这将是一个创意可以带来一个产业、改变整个世界的创意时代.以计算机、电子通信和互联网为核心的第三次科技革命即将成为历史,它们将不再是新的经济大浪潮的主角,而是已经转型为载体和驱动力.  相似文献   
7.
高温退火对反应溅射制备的a-SiC:H薄膜结构的影响   总被引:5,自引:0,他引:5  
通过红外透射谱、拉曼散射谱和X射线衍射谱的测量,研究了反应溅射制备的氢化非晶硅碳膜(SP-a-SiC:H)高温退人处理后的结构变化。发现在等时退火的情况下,退火温度对薄膜结构影响明显,H原子的逸出温度与键合有关,H从CHn中逸出要比从SiHn键中追出需要更高的温度,样品经800℃退火后,a-SiC:H膜转化为μc-SiC膜  相似文献   
8.
本文通过红外透射谱(IR)、拉曼散射谱、电子自旋共振谱(ESR)、光吸收谱、电导率和淀积速率的测量,比较全面地研究了射频功率对反应溅射法淀积的a-Ge:H薄膜特性的影响。发现a-Ge:H膜的淀积速率、氢量、膜结构、光电性能随功率发生规律性的变化。对实验结果作了初步讨论。  相似文献   
9.
本对射频溅射法沉积的a-SiC:H膜热退火形成6H-SiC相进行了研究。我们采用红外透射谱、喇曼背散射谱和X光衍射谱来研究退火形成6H-SiC的过程。在较高的射频功率下沉积的a-SiC:H膜经800℃60分钟等时退火后转变为6H-SiC相,该温度低于在低功率下制备的a-SiC:H形成6H-SiC(1000℃)。高功率可导致6H-SiC形成温度的降低与膜中硅及石墨团簇的消失,同时高能量的氩离子轰击  相似文献   
10.
本文对射频溅射法淀积的a-SiC∶H膜热退火形成6H-SiC相进行了研究.我们采用红外透射谱、喇曼背散射谱和X光衍射谱来研究退火形成6H-SiC的过程.在较高的射频功率下淀积的a-SiC∶H膜经800℃60分钟等时退火后转变为6H-SiC相,该温度低于在低功率下制备的a-SiC∶H形成6H-SiC的温度(1000℃).高功率可导致6H-SiC形成温度的降低与膜中硅及石墨团簇的消失,同时高能量的氩离子轰击可使膜中氢含量减少及各组分均相.通过改变射频功率,本文研究了氩离子轰击对a-SiC∶H膜及形成6H-Si  相似文献   
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