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在扫描电镜 (SEM )系统中 ,为了保护真空系统中的扩散泵 ,当电镜工作完毕时 ,循环水冷却器需要继续工作 2 0min以上才能关闭[1] 。电镜安装工程师虽然明确要求用户必须如此操作 ,但多年来厂家却没有提供相应的自动化延时关闭装置[1] 。在实际操作中 ,工作人员为了遵守工作时间 ,就不得不提前结束工作 ,而关闭电镜。日积月累会给电镜工作者带来诸多不便 ,造成一定的资源浪费或降低仪器的使用率。也有电镜工作者采取简易方法来实现定时控制[1] ,但其操作繁琐 ,整个过程不能够自动完成。我们将主机供电系统与冷却器供电系统进行关联 ,设… 相似文献
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