基于多源数据融合的半导体晶片CMP抛光材料去除率预测

目的 对半导体晶片抛光过程中的工艺参数、耗材使用量、抛光垫状态参数等多源数据预处理后进行数据融合,建立材料去除率(MRR)预测模型,为实现半导体晶片抛光加工工艺的决策和处理奠定基础。方法 研究晶片抛光加工中的数据特点及数据融合需求,提取数据集中每个晶片加工过程中的统计特征并生成新数据集,同时引入邻域特征以应对晶片加工过程中动态因素对材料去除率的影响。提出基于深度自动编码器的多源数据融合及材料去除率预测方法。设计深度自动编码器参数,优化深度自动编码器的损失函数从而增强深度自动编码器对强相关性特征变量的重建。基于深度自动编码器进行多源传感器信号融合,降低数据维度。使用超参数搜索算法优化BP神经网络超参数,利用BP神经网络方法将融合后的数据进行半导体晶片抛光过程中的材料去除率预测。结果 采用PHM2016数据集对模型进行验证,均方误差MSE达到7.862,相关性R²达到91.2%。结论 基于多源数据的融合模型能有效预测MRR,可以对半导体晶片CMP工艺过程的智能决策与控制起到良好的辅助作用。     

试论元代青花瓷的收藏价值

元青花瓷器在当今的收藏界已经掀起了一股热潮,主要原因是由于其具有不可比拟的文化价值与经济价值。本文试从元青花的产生、发展与收藏价值的现状对它进行了思考与解析。     

La-Ce混合稀土对AZ91D合金组织和性能的影响

以AZ91D镁合金作为研究对象,探究了La-Ce混合稀土含量对其组织性能的影响。结果表明:在AZ91D镁合金中加入混合稀土La-Ce后,铸态组织为网状β-Mg₁₇Al₁₂相及少量杆状稀土化合物。且随着稀土含量增多,β-Mg₁₇Al₁₂和杆状稀土化合物被细化。经固溶时效处理后,随稀土含量增加,试验合金伸长率增大,硬度和抗拉强度均先增后降,稀土含量为2.38%时,合金力学性能最佳。     

行云流水 道法自然——浅析绞胎陶瓷的装饰艺术特征及现代审美观照

绞胎陶瓷作为我国古代陶瓷装饰工艺的一个特殊晶种，其浑然天成的纹理效果、内外通透的艺术品格、抽象的视觉装饰语言而在众多的瓷种中脱颖而出。本文试从绞胎陶瓷的装饰艺术特征及意蕴所表现出来的观念、情调、以及形式的美感来进行深入的分析。     

基于时程分析法的门式起重机脉动风响应规律研究

以40.5 t门式起重机为研究对象,用时程分析法研究其脉动风响应规律,采用Davenport风速谱进行研究,利用Matlab软件模拟出不同计算风速下随时间变化的脉动风。在两种工况下,利用Ansys软件通过APDL命令流导入不同计算风速下的脉动风风压曲线,对门式起重机的结构模型进行瞬态动力学分析,列表归纳得到门式起重机结构在不同计算风速下各方向的最大位移值和最大复合应力取值。得出的结论是:脉动风风速的增大主要影响顺风向时门式起重机结构的变形和复合应力,顺风向脉动风对该机结构具有激励作用,此作用不受门式起重机外部载荷和风速变化的影响。     

基于机器视觉的铝型材表面瑕疵检测方法

铝型材的表面瑕疵影响其质量、外观以及安全性,如何准确、快速和高效地识别铝型材的表面瑕疵至关重要。为解决检测铝型材表面瑕疵的问题,提出一种基于机器视觉的铝型材表面瑕疵检测方法。该方法基于铝型材的瑕疵种类和特性,采用非线性的双边滤波,并对其定义域核函数作出空间域改进,改进后的滤波算法能够较好地抑制噪声,保留瑕疵边缘信息。预处理后采用改进的Canny算法对图像进行梯度计算并且通过非极大值抑制得到候选边缘,对缺陷进行定位。为了有效地对瑕疵进行分类,对其数据集进行数据增强,防止过拟合情况的发生,结合光照等外界因素对瑕疵特征的影响,采用HOG算法进行特征提取,并将卷积神经网络多层的特征与HOG特征进行融合,对卷积核采用相关系数法优化,解决传统HOG+SVM模型泛化能力和鲁棒性差的问题,铝型材表面瑕疵检测准确率提升至90.26%,平均每张测试集仅需58.34 ms,符合目前对铝型材表面质量检测的需求。     

时效工艺对WE43镁合金组织与力学性能的影响

研究了WE43稀土镁合金在不同热处理工艺下显微组织、力学性能的变化规律,从而得出最佳的热处理工艺。研究结果表明WE43稀土镁合金铸态组织为等轴状晶粒,比较均匀,平均晶粒尺寸为40 μm;铸造冷却凝固的过程中,在晶界处形成了离异共晶组织;经520 ℃×8 h固溶处理后的组织,共晶相的数量和形态发生了明显的变化,枝晶偏析基本消除,晶界上仍有少量未溶的第二相。230 ℃×8 h时效后稀土第二相的数量增加,并且在晶粒内部析出了点状弥散的稀土相;经过250 ℃×16 h的时效后,合金的硬度达到了峰值,随着时效时间的继续延长,合金的硬度下降。固溶处理后WE43稀土镁合金的抗拉强度为162.59 MPa左右,断后伸长率约为5.0%;而经过250 ℃时效处理后,其抗拉强度明显增加,断后伸长率在4%左右。     

混料设计在葛根天麻咀嚼片配方研究中的应用

以葛根天麻为原料,通过单因素试验考察葛根天麻、填充剂、甜味剂等添加量对咀嚼片的感观指标的影响,并在此基础上采用D-最优混料设计试验对葛根天麻咀嚼片配方进行优选,得到葛根天麻咀嚼片的最佳处方为:葛根天麻粉32%、麦芽糖醇20%、甘露醇30%、微晶纤维素16%,硬酯酸镁1.2%,柠檬酸0.8%,得出综合评分为71.21±0.31,与预测值相符,在此配方下所得产品外观均匀,硬度适中,口感细腻,整体风味良好。     

基于机器视觉的金属板材表面波纹度检测方法

常规波纹度测量方法存在检测效率低、检测精度不高等问题,为了实现金属板材表面波纹度的快速准确检测,提出了一种非接触式的表面波纹度无损检测方法,该方法采用改进的中值滤波实现高效快速的图像去噪,使用霍夫变换实现图像的自动旋转,提取了表面图像基于灰度共生矩阵的纹理特征参数,并进行相关性分析.结果表明,对比度、能量、相关和熵等特...     

缬草总黄酮超声辅助双水相提取工艺优化及抗氧化活性研究

以缬草为原料,缬草总黄酮得率为指标,采用超声辅助乙醇-硫酸铵双水相体系对缬草总黄酮提取工艺进行单因素及Box-Behnken响应曲面试验优化,并与回流提取所得的总黄酮的还原力、DPPH自由基清除能力、羟自由基清除能力进行抗氧化能力比较。结果表明:缬草总黄酮超声辅助双水相提取的最佳工艺条件为超声时间35 min、硫酸铵用量0.20g/mL、超声温度51℃、液料比为241(mL/g),在该条件下总黄酮提取率为(6.37±0.08)%。两种提取方法所得的缬草总黄酮对DPPH自由基、羟自由基有较强的清除能力和较高的还原力,且超声辅助双水相提取的缬草总黄酮抗氧化能力显著高于一般回流提取。