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总结了过去对镍电极容量性能研究取得的成果和存在的问题,介绍了纤维复合镍电极的制作工艺,即纤维复合镍基体成型,烧结和电化学浸渍。研究了纤维复合镍电极的电化学性能,并探讨了它的活化机理;研究结果发现纤维复合镍电极的体积比容量为125 ̄175mAH/cm^2重量比容量为250 ̄340mAH/g,与粉末烧结式镍电极相比,重量比容量提高66% ̄72%,体积比容量相近,最后还介绍了理论研究用的纤维复合镍电极。 相似文献
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非晶态Fe-W合金的电沉积方法及耐蚀性能 总被引:1,自引:0,他引:1
Fe-W合金镀层历来都是采用酒石酸铵体系制备的,本文改用价格低廉的柠檬酸铵为络合剂,通过实验确立了Fe—W非晶镀层的最佳电沉积条件.采用阳极极化曲线和浸泡实验测试了非晶镀层的腐蚀行为,对照不锈钢SUS304,对其耐腐蚀性能进行了评价. 相似文献
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以氟化氢为基础的溶液被广泛地用在扩散前清洗工艺中的二氧化硅清洗与蚀刻中.为降低不同批次之间工艺效果的差别,也就是增加批次与批次之间工艺效果的可重复性,更好地控制氧化物地腐蚀显得尤为重要.自动化的蚀刻控制体系弥补了在线的化学品浓度与反应温度的偏差而达到了精确的蚀刻目标. 相似文献
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赵水林 《电子工业专用设备》2004,33(6):63-66
对氮化硅阻挡层或ARC层的去除通常使用在高温磷酸溶液中选择性氮化硅刻蚀。简要地阐述氮化硅刻蚀的工艺特性,及对氮化硅刻蚀后氧化硅厚度的控制提出一点见解。 相似文献
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非晶态Fe-W合金的电沉积方法及耐蚀性能 总被引:2,自引:0,他引:2
Fe-W合金镀层历来都是采用酒石酸铵体系制备的,本文改用价格低廉的柠檬酸铵为络合剂,通过实验确立了Fe—W非晶镀层的最佳电沉积条件.采用阳极极化曲线和浸泡实验测试了非晶镀层的腐蚀行为,对照不锈钢SUS304,对其耐腐蚀性能进行了评价. 相似文献