基于FKICA-SIFT特征的合成孔径图像多尺度配准

针对合成孔径(SAR)图像的配准,提出一种基于仿射不变快速核独立成分分析-尺度不变特征变换(FKICA-SIFT)的多尺度配准方法.首先,根据特征点的Hessian矩阵构建仿射不变SIFT描述子.接着,利用FKICA提取该描述子的独立成分得到新的描述子FKICA-SIFT.然后,利用该描述子对Steerable滤波后的...     

曲率半径的高精度测量及其不确定度

为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法.测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相干涉技术测量干涉腔腔长,通过计算分析得到被测元件的曲率半径.文中描述了该方法的系统构成及其工作原理.结合实例,运用理论分析与软件仿真模拟分析了方法的测量不确定度.最后,利用实验室现有的商用波长移相干涉仪进行了实验验证.对一口径为100 mm的球面样品进行曲率半径的测量,得到的结果为157.108 3 mm;利用接触式球径仪法对同一样品进行对比测量,结果显示相对误差小于0.02％.与其它目前已有的非接触式曲率半径测量方法相比,提出的方法具有误差源少、测量精度高、易于操作等优点.     

高精度6inch F/5.4球面标准具结构研究与设计

193 nm光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米级,因此要求检测精度为纳米到亚纳米级.在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,干涉仪标准球面镜的精度要优于λ/40.根据检测要求,设计了一种新的标准镜装卡结构.采用有限元方法分析了参考面在重力作用下的面形变化情况,其最大面变形变化峰谷(PV)值仅为4.88 nm,...     

前馈控制算法校正相移微动台非线性运动

压电陶瓷具有推力大,响应速度快,分辨率高和能耗低等优点,但其形变量小,所以需要位移放大机构对其形变量进行放大,实现长行程高分辨率位移。针对压电陶瓷作为驱动器,柔性铰链位移放大装置作为导向机构的相移微动台运动存在非线性问题,采用多项式模型对其位移特性进行建模,通过求解逆多项式获得使其线性运动非线性电压,利用实验对非线性运动校正结果进行验证。实验结果表明,所采用前馈控制算法可以很好的校正相移微动台非线性运动,校正后相移台在x,y方向产生的最大相移误差为4°与3.2°,满足高精度相移干涉测量对相移台相移误差要求。     

基于可调滤波改进互信息的遥感图像配准

为了减少基于互信息的图像配准方法中插值效应对配准精度的影响,提出一种用可调滤波改进互信息的配准方法,通过用可调滤波提取图像的全部方位结构信息特征进行互信息的估计.理论分析和实验结果表明该方法可以明显减少插值效应的影响,提高配准的精度,对遥感图像的配准结果也令人满意.     

光刻物镜光瞳极平衡性标定方法

极平衡作为光刻物镜的一项重要指标,受到多种误差因素综合调制,因此有必要准确区分各种误差源的独立贡献量。提出了一种标定方法,将远心度误差所引入的调制效果进行了解耦,对极平衡指标进行了标定,并与质心标定方法进行对比研究。实现途径是以Matlab程序作为载体,调用Code V进行远心度运算,对LightTools的光瞳强度仿真结果进行重新定位,从而获取远心分离后的极平衡性指标。此外,设计了一个光刻物镜方案作为研究对象,对标定程序进行了仿真验证。结果表明,该标定方法可有效分离远心误差对极平衡的调制作用,程序执行效率较高。     

高精度曲率半径测量研究

由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测精度的主要因素,并给出了在曲率半径测量过程中减小测量误差的方法以及相应的补偿方式。基于此分析,在高精度实验室中采用菲佐干涉仪结合高精度测长干涉仪的干涉测量方式,分别对典型的凸球面和凹球面光学元件进行了曲率半径检测。实验结果表明:通过环境补偿和提高对准精度的方法,曲率半径检测的复现性优于0.2μm,实际测得的相对误差分别为0.67×10~(-6)(2σ)和0.60×10~(-6)(2σ),实现了高精度曲率半径测量。