氮气氛中高温热处理硅片表面的直接氮化

研究了直拉硅单晶片在氮气氛下热处理时的表面氮化,利用了XPS(X射线光电子谱)、SEM(扫描电子显微镜)、金相显微镜、XRD(X射线衍射仪)等手段研究了在高纯氮和非高纯氮保护条件下不同温度热处理后的样品表面,结果发现只有用高纯氮保护和温度高于1100℃的条件下,氮气才能与硅表面发生反应,生成氮化硅(Si3N4)薄膜,否则氮保护中微量的氧气会和硅表面发生反应,生成二氧化硅(SiO2)薄膜.     

基于流线的聚合物驱热降解数值模拟

聚合物驱是化学驱提高采收率的主要方法之一。热降解是影响聚合物驱效果的重要因素,利用油藏数值模拟进行聚合物驱方案设计时,应考虑聚合物的热降解作用,但目前考虑热降解的聚合物驱数值模拟尚未完善。为此,基于准确反映热降解的粘度衰减模型,利用分时步更新流线及网格—流线场互相映射的方法求解降解时间,实现了聚合物驱热降解数值模拟。该方法物理意义明确,适用性强,计算结果准确,可以准确反映聚合物在流动状态下的热降解过程。利用该数值模拟方法进行了3组模型的研究,结果表明,聚合物驱过程中聚合物的降解时间小于在地层中的传播时间,聚合物驱达到稳定后,降解时间等于传播时间。热降解对地层中聚合物质量浓度分布基本无影响,但会造成聚合物粘度降低,延长聚合物驱见效时间,同时使含水率下降,漏斗变小,驱油效果变差,在聚合物驱方案设计时应充分考虑聚合物的热降解作用。     

高温快速热处理对硅中热施主的影响

研究了不同气氛(N2 、O2 、Ar)下高温快速热处理(RTP)对热施主形成和消除特性的影响.研究发现无论在何种气氛下进行高温RTP ,对热施主的形成均无影响.扩展电阻的分析结果表明,热施主在硅片纵向的分布是均匀的.根据高温RTP后硅片的空位特征,认为点缺陷对热施主的形成特性无影响.同时研究了高温RTP预处理对热施主消除特性的影响,发现氧气和氩气高温RTP的样品其生成的热施主经过6 5 0℃退火即可消除,和普通的热施主消除特性相同.而N2 气氛下高温RTP的样品,6 5 0℃退火后仍有部分施主存在,经95 0℃退火才能彻底消除,这可能是由于RTP处理中发生氮的内扩散     

基于ANSYS的钻柱纵向振动固有频率分析

采用ANSYS的有限元法对钻柱纵向振动固有频率进行了分析研究,通过建立有限元模型,对钻柱的纵向振动固有频率进行了模态分析和谐响应分析.阐明了钻柱的纵向振动各阶频率与井下钻柱长度、钻柱提升或下放速度与时间比值之间的规律.     

氮气氛中高温热处理硅片表面的直接氮化

研究了直拉硅单晶片在氮气氛下热处理时的表面氮化,利用了XPS(X射线光电子谱)、SEM(扫描电子显微镜)、金相显微镜、XRD(X射线衍射仪)等手段研究了在高纯氮和非高纯氮保护条件下不同温度热处理后的样品表面,结果发现只有用高纯氮保护和温度高于110 0℃的条件下,氮气才能与硅表面发生反应,生成氮化硅(Si3 N4 )薄膜,否则氮保护中微量的氧气会和硅表面发生反应,生成二氧化硅(SiO2 )薄膜.     

硅中氮离子注入的研究进展

综述了硅中氮离子注入的应用和研究进展。主要讨论了氮离子注入形成SOI层的原理、质量的影响因素和电学性能；介绍了氮离子注入在制备超薄氧化栅极及其抑制掺杂杂质原子特别是硼原子扩散等方面的研究和应用。     

氮化硅薄膜制备和生长动力学研究进展

综述了氮化硅在微电子中的应用、制备，阐述了用氮气直接氮化的影响因素、膜生长的机理和动力学，以及未来的研究方向。     

页岩气新井压裂规模优化设计

由于页岩气藏的渗透率极低,一般小于0.1×10-3μm2,对其实施多级分簇大规模体积压裂是目前改善储层导流能力、提高储层产能的关键技术。以涪陵页岩气田某区块为例,基于线网模型,文中提出了一套系统的页岩气藏新井压裂规模优化设计方法。根据老井压裂及试产数据,利用主成分分析法,筛选影响气井产能的关键压裂参数(压裂级数、裂缝导流能力和缝网带长)。采用响应面方法对区块新钻井的压裂施工进行优化设计,得到最佳新井压裂参数:压裂级数3,缝网带长120 m,裂缝导流能力45×10-3μm2·m。通过对老井压裂参数的统计分析,优化设计新井的体积压裂规模,可以最大程度发挥体积压裂的增产效果,实现页岩气藏的高效开发。     

动态毛管力对低渗油藏开发动态的影响

油水两相渗流过程中,毛管力不仅是饱和度的函数,还是饱和度变化率的函数;动态毛管力与黏度、渗透率、驱替速率等因素相关。通过建立考虑动态毛管力效应的油水两相渗流数学模型,利用数值模拟软件研究动态毛管力对油藏开发动态的影响,并考察动态毛管力与储层非均质性的关系。结果表明,动态毛管力造成水驱油过程中含水率加速上升,产油量下降,产生阻力效应,同时加剧了油藏的非均质性。     

稠油油藏Fast-SAGD技术储层筛选标准

为加速Fast-SAGD技术的现场推广,以阿尔伯塔冷湖先导试验区为研究对象,运用油藏数值模拟软件研究了地层韵律、页岩夹层、漏失层等非均质条件对Fast-SAGD开发效果的影响,通过量化分析得到了Fast-SAGD的储层筛选标准。研究表明：正韵律Fast-SAGD开发效果远远优于反韵律Fast-SAGD,前者要求垂水渗透率之比大于0.15,渗透率级差在4左右,后者要求垂水渗透率之比大于0.25,渗透率级差小于3;注采井间的页岩尺寸约为15 m时,蒸汽的窜流现象能够得到有效控制,页岩夹层位于上部储层1/2及以上位置时,其对蒸汽腔发育的阻碍作用可以忽略;顶底水不利于Fast-SAGD的开发,但对于气顶油藏,当气顶与油藏体积比为0.1～0.2时,保留气顶开采效果较好。明确Fast-SAGD技术对于各种地质因素的适用性,有利于现场稠油开采技术的筛选,规避开发效果欠佳区块,实现稠油油藏的经济高效开发。