GGY一20型高性能固态压力传感器(续)

六、温度补偿固态压力传感器受温度影响较大,这是人所共知的,因此除了在制作工艺上采取必要的措施以外,对传感器进行外电路补偿是必不可少的。这里采用的是一种常规的方法,其原理如图6所示。图6中,R_1、R_2、R_3、R_4为应变电阻;R_TZ为零点温度补偿电阻;R_Z为零点配平电阻;R_TS为灵敏度温度补偿电阻;V为桥电压;V_p为输出。 1.零点的温度补偿传感器零点随温度变化主要是由应变电阻的不一致性和应变电阻温度系数的不一致性引起的。因此对其补偿是通过改变一个桥臂的电阻值及其温度系数来实现的。如果温度变化了△T,电桥零点输出有了△V_po的变化,此时,零点温度系数为     

GGY-20型高性能固态压力传感器

本文介绍了采用"固体连接结构"的固态压力传感器的结构设计、性能指标、非线性及其温度补偿措施,并提供了性能测试的有关情况及其具体数据。     

用于宏单元阵列的自动布局算法

本文针对宏单元阵列的特点,提出了构造布局和布局改善同时进行的布局算法和以布局均匀和信号网分布均匀为主要目标的多目标布局评价函数.它在布局过程中就考虑到布局对布线的影响,并自始至终地把总体布线的思想恰如其份地和布局问题结合起来.另外,比以在的算法增加了以局部区域通道布线密度下降为目标的通道布线密度均匀化处理,从而极大地减少了由于局部区域拥挤而造成整个布图失败的可能性.实用结果表明该算法的布局效果是良好的.     

绝对式固态压力传感器

固态压力传感器具有许多优点,主要是灵敏度高、动态响应快、精度高、易于小型化等等。因此,目前在这几个方面发挥它的特长都取得了良好的结果。如国外小型固态压力传感器直径已达到φ0.8mm,扁平厚度达到 1mm;动态传感器其固有频率可达到1000KHz;高精度传感器已达到0.02%。国内也正向这几个方向发展。本文介绍一种绝对式固态压力传感器。为适应低真空测量的要求,将相对式固态压力传感器引入一个标准压力腔,做成绝对式压力传感器是十分必要的,这对于大气测量、真空技术、航空和宇航都很需要。     

双层门阵布线系统中的端点分配算法

在双层门阵情况下,总体布线完成后,端点分配问题将直接影响到布通率和布线质量。本文根据端点分配中的一些启发式原则以及端点间的制约关系,提出了制约关系链的概念,并为解决链中的矛盾构造了距离函数。根据距离函数可以方便地求得较为合理的分配。文中给出了算法并用一实例表现了算法思想。     

薄膜电阻真空计的研制

薄膜电阻真空计的测量范围为1托～1000托,线性测量,测量精度优于5％,为全压强测量,测量值受被测气体种类影响较小。一、引言利用集成电路平面工艺在硅膜片上制作四个等值电阻,组成惠斯登电桥。硅膜片在不受力时,电桥处于平衡状态,电桥没有电压输出。硅膜片受到压力时,由于压阻效应,电桥处