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Si:Pd深能级的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用三种钯源对p~+nn~+和n~+pp~+硅二极管进行了扩散掺杂,井用深能级电容瞬态谱仪(DLTS)对它们作了测量.在适当的工艺条件下,在各类样品中均观察到能量为E_c-0.37eV和E_c-0.62eV两个浓度居统治地位的新的电子陷阱能级.从实验上证明了以上两个能级确是由进入硅点阵中的钯杂质所引起,并确定了它们和文献报道过的Si:Pd 能级间的相互转化关系.由这些能级的产生条件,退火特性以及电学测量结果来看,这两个新能级应分别与硅中间隙钯所引起的两种不同荷电态的施主中心相对应. 相似文献
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本文介绍一种采用相敏检波器(PSD)率窗的双相关深能级瞬态谱(DDLTS)测量系统。它具有结构简单、成本低、操作灵便等优点,尤其是具有好的信噪比,可望提高测量的空间分辨率。 相似文献
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