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研究了电子束、离子束作用于Al2O3表面时成分的变化,表明无论电子束或离子束都能使Al2O3发生分解,产生导电的元素Al。实验在PHI610·SAM上进行,电子束轰击下(3keV,O.5μA,入射角60°)10s就有元素Al分解出来,2min以后就达到饱和,分解析出量随时间成a(1-e-bt)的关系。离子束轰击下同样发生元素Al的分解,但当Ei>3keV时,由于剥离速率加大,溅射5min时表面Al峰反而比1min时要弱。这时表面Al含量处于分解析出与溅射剥离的动态平衡中。实验还发现了Al2O3的解析与表面成分有关(如碳的含量)。最后讨论电子束与离子束的解析机理。 相似文献
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本文利用俄歇电子谱(AES)、X射线衍射(XRD)和电学测量等方法研究了原位掺杂多晶硅/CoSi_2/Si_(衬底)多层结构在700—900℃的温度范围内在惰性气体和真空中进行热处理的稳定性.结果表明,当退火温度低于 850℃,这种结构有良好的热稳定性.当温度高于 850℃,多晶硅与硅化物间将发生互扩散和界面反应.随着退火温度升高,在惰性气体的气氛中,CoSi_2迁移到表面层,而硅外延生长在硅衬底上,形成 CoSi_2/Si 双层结构;在真空中热处理仍可保持 poly-Si/CoSi_2/Si 三层结构. 相似文献
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一、前言世界很多国家都在研究制备超导材料,而且发展很快。国内有十多个单位用电子束蒸发、磁控溅射等方法获得零电阻转变温度T_(R=0)>85K的超导薄膜,也有用分子束外延、化学气相沉积法制备的。一般超导临界转变温度T_C<85K,我国制Bi-Sr-Ca-Cu-O超导薄膜的T_(R=0)>111K,T_C=125K。 相似文献
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凸轮轴廓面磨削振纹分析 总被引:3,自引:0,他引:3
崔玉德 《柴油机设计与制造》1996,(1):29-32,53
对135柴油机763Ca凸轮廓面磨削振纹形成机理进行了试验及分析研究,得出了与现有文献不同的结论,指出磨削振纹的形成不在于磨削力的大小,而在于磨削力变化率的大小。对称凸轮的振纹并不对称,振纹的位置并非一定发生在敏感点和曲线分段处现象都可用磨削振纹是由于磨削力变化率过大引起的观点加以解释。还提出了削除和减少磨削振纹的途径。 相似文献